- 1、本文档共6页,可阅读全部内容。
- 2、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
查看更多
框架式电容硅微机械加速度计
(19)中华人民共和国国家知识产权局 *CN201852851U*
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 201852851 U
(45)授权公告日 2011.06.01
(21)申请号 201020208097.2
(22)申请日 2010.05.28
(73)专利权人 南京理工大学
地址 210094 江苏省南京市孝陵卫200 号
(72)发明人 裘安萍 施芹 苏岩
(74)专利代理机构 南京理工大学专利中心
32203
代理人 唐代盛
(51)Int.Cl.
G01P 15/125 (2006.01)
B81B 7/02 (2006.01)
(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
权利要求书 1 页 说明书 3 页 附图 1 页
(54)实用新型名称
框架式电容硅微机械加速度计
(57)摘要
本实用新型公开了一种框架式电容硅微机
械加速度计,由上、下两层构成,上层为制作在单
晶硅片上的加速度计机械结构,下层为制作在玻
璃衬底上的信号引线,加速度计机械结构由框架
式质量块、U 型支撑梁、固定检测梳齿和止挡块组
成,框架式质量块上的活动梳齿与固定检测梳齿
组成差分检测电容,框架式质量块上下端分别通
过上支撑梁和下支撑梁与上下固定基座相连,两
个止挡块分别制作在上下固定基座上,上下固定
基座安装在玻璃衬底上的固定基座键合点上,使
上层的机械结构部分悬空在下层的玻璃衬底部分
之上。本实用新型框架式质量块降低了交叉轴灵
敏度,增加了结构的稳定性。
U
1
5
8
2
5
8
1
0
2
N
C
CN 201852851 U 权 利 要 求 书
CN 201852854 U 1/1 页
1. 一种框架式电容硅微机械加速度计,由上、下两层构成,上层为制作在单晶硅片上的
加速度计机械结构,下层为制作在玻璃衬底上的信号引线,其特征在于:加速度计机械结构
由框架式质量块(1)、U 型支撑梁(2a、2b、2c、2d)、固定检测梳齿(3a、3b、3c、3d、3e、3f)和止
挡块(5a、5b)组成,框架式质量块(1)上的活动梳齿与固定检测梳齿(3a、3b、3c、3d、3e、3f)
组成差分检测电容,框架式质量块 (1)上下端分别通过上支撑梁 (2a、2b) 和下支撑梁 (2c、
2d) 与上下固定基座 (4a、4b) 相连,两个止挡块 (5a、5b) 分别制作在上下固定基座 (4a、4b)
上,上下固定基座 (4a、4b) 安装在玻璃衬底上的固定基座键合点上,使上层的机械结构部
分悬空在下层的玻璃衬底部分之上。
2. 根据权利要求1 所述的框架式电容硅微机械加速度计,其特征在于:框架式质量块
(1) 由三条平行的横板和两条平行的竖板交错连接组成框架式结构形式,其中横板将两条
竖板分成两个相等的上下区域,上下两组各四列活动梳齿设置在竖板上。
3. 根据权利要求1 或2 所述的框架式电容硅微机械加速度计,其特征在于:上部分的
固定检测梳齿(3a、3b、3c) 并排排列,与框架式质量块 (1)上区域的活动梳齿组成四组检测
电容,下部分的固定检测梳齿(3d、3e、3f) 并排排列,与框架式质量块 (1)下区域的活动梳
齿组成四组检测电容,上下八组检测电容构成差分检测电容;上下两组活动梳齿和其相邻
的固定检测梳齿间距不等,上下八组检测电容关于框架式质量块 (1)中间横板形成的x 轴
对称。
4. 根据权利要求1 所述的框架式电容硅微机械加速度计,其特征在于:四根U 型支撑
梁 (2a、2b、2c、2d) 相对于框架式质量块 (1) 中心对称布置,各U 型支撑梁 (2a、2b、2c、2d)
为轴对称结
文档评论(0)