框架式电容硅微机械加速度计.PDF

(19)中华人民共和国国家知识产权局 *CN201852851U* (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 201852851 U (45)授权公告日 2011.06.01 (21)申请号 201020208097.2 (22)申请日 2010.05.28 (73)专利权人 南京理工大学 地址 210094 江苏省南京市孝陵卫200 号 (72)发明人 裘安萍 施芹 苏岩 (74)专利代理机构 南京理工大学专利中心 32203 代理人 唐代盛 (51)Int.Cl. G01P 15/125 (2006.01) B81B 7/02 (2006.01) (ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利 权利要求书 1 页 说明书 3 页 附图 1 页 (54)实用新型名称 框架式电容硅微机械加速度计 (57)摘要 本实用新型公开了一种框架式电容硅微机 械加速度计，由上、下两层构成，上层为制作在单 晶硅片上的加速度计机械结构，下层为制作在玻 璃衬底上的信号引线，加速度计机械结构由框架 式质量块、U 型支撑梁、固定检测梳齿和止挡块组 成，框架式质量块上的活动梳齿与固定检测梳齿 组成差分检测电容，框架式质量块上下端分别通 过上支撑梁和下支撑梁与上下固定基座相连，两 个止挡块分别制作在上下固定基座上，上下固定 基座安装在玻璃衬底上的固定基座键合点上，使 上层的机械结构部分悬空在下层的玻璃衬底部分 之上。本实用新型框架式质量块降低了交叉轴灵 敏度，增加了结构的稳定性。 U 1 5 8 2 5 8 1 0 2 N C CN 201852851 U 权 利 要 求 书 CN 201852854 U 1/1 页 1. 一种框架式电容硅微机械加速度计，由上、下两层构成，上层为制作在单晶硅片上的 加速度计机械结构，下层为制作在玻璃衬底上的信号引线，其特征在于：加速度计机械结构 由框架式质量块(1)、U 型支撑梁(2a、2b、2c、2d)、固定检测梳齿(3a、3b、3c、3d、3e、3f)和止 挡块(5a、5b)组成，框架式质量块(1)上的活动梳齿与固定检测梳齿(3a、3b、3c、3d、3e、3f) 组成差分检测电容，框架式质量块 (1)上下端分别通过上支撑梁 (2a、2b) 和下支撑梁 (2c、 2d) 与上下固定基座 (4a、4b) 相连，两个止挡块 (5a、5b) 分别制作在上下固定基座 (4a、4b) 上，上下固定基座 (4a、4b) 安装在玻璃衬底上的固定基座键合点上，使上层的机械结构部 分悬空在下层的玻璃衬底部分之上。 2. 根据权利要求1 所述的框架式电容硅微机械加速度计，其特征在于：框架式质量块 (1) 由三条平行的横板和两条平行的竖板交错连接组成框架式结构形式，其中横板将两条 竖板分成两个相等的上下区域，上下两组各四列活动梳齿设置在竖板上。 3. 根据权利要求1 或2 所述的框架式电容硅微机械加速度计，其特征在于：上部分的 固定检测梳齿(3a、3b、3c) 并排排列，与框架式质量块 (1)上区域的活动梳齿组成四组检测 电容，下部分的固定检测梳齿(3d、3e、3f) 并排排列，与框架式质量块 (1)下区域的活动梳 齿组成四组检测电容，上下八组检测电容构成差分检测电容；上下两组活动梳齿和其相邻 的固定检测梳齿间距不等，上下八组检测电容关于框架式质量块 (1)中间横板形成的x 轴 对称。 4. 根据权利要求1 所述的框架式电容硅微机械加速度计，其特征在于：四根U 型支撑 梁 (2a、2b、2c、2d) 相对于框架式质量块 (1) 中心对称布置，各U 型支撑梁 (2a、2b、2c、2d) 为轴对称结