环形抛光中频误差的计算模拟∫T-强激光与粒子束.PDF

第 卷第 期 强 激 光 与 粒 子 束 , 25 12 Vol.25 No.12 年 月 , 2013 12 HIGH POWERLASERANDPARTICLEBEAMS Dec. 2013 文章编号: ( ) 1001-4322201312-3307-04 环形抛光中频误差的计算模拟* , , , , , 谢 磊 张云帆 游云峰 马 平 刘义彬 鄢定尧 ( , ) 成都精密光学工程研究中心 成都 610041 : , 、 、 , 摘 要 通过建立环形抛光的去除模型 从理论上分析了转速比 槽形 元件摆动对于抛光结果的影响 。 : , 并分析了中频误差产生的原因 模拟结果表明 转速比的差异会产生较大的低频误差 而中频误差会随着低频 ; , , ; 误差的降低而降低 槽形是中频误差的主要来源 复杂的非对称不规律槽形使抛光路径复杂化 降低中频误差 , , 同时元件的小幅度摆动能够使抛光更加均匀 减小定心式抛光造成的元件表面规则状纹路结构 从而有效减小 元件的中频误差。 : ; ; ; ; 关键词 环形抛光 中频误差 模拟 转速比 槽形 中图分类号: 文献标志码: : / TG701 A doi10.3788HPLP3307 , , 随着强光光学的发展以及巨型高功率固体激光系统的建立 对于光学元件的要求越来越高 传统的波前指 ( )、 ( )、 ( ) , 标如波前峰谷值 PV 波前梯度 GRMS 表面粗糙度 Rq 等已不能满足波前全频段的控制需求 需要得到大 。 , 口径光学元件的中频信息并加以控制 较大的中频误差会导致激光光束的高频调制和非线性增益 进而造成 [] 1 。 , 光学元件损坏和光束的可聚焦功率降低 同时 中频段误差产生的小角度散射会极大降低光学系统的分辨 , ,