Pt原子百分含量对FePt合金薄膜结构的影响.pdfVIP

2008牟2月 吉林师范大学学报(自然科学版) № ．1 第1期 Journal of Jilin Normal University(Natural Science Edition) Feb．2008 Pt原子百分含量对FePt合金薄膜结构的影响 张玉梅，刘 梅，张 伟，李海波 (吉林师范大学凝聚态物理与材料科学研究所，吉林四平136o0o) 摘 要：采用直流磁控溅射在si02(0001)基片上制备了不同Pt原子百分含量的FePt合金薄膜，薄膜样品经过 650℃热处理l h，得到了Ll0有序结构．利用x射线衍射对样品的结构进行了分析，结果表明Pt原子百分含量对 形成u0有序结构有明显的影响． 关键词：磁控溅射；Ll0有序相；Pt原子百分含量 中图分类号：TM273 文献标识码：A 文章编号：10~0-1S40-(2008)01．0102-02 验方案要求．为了得到组分和厚度均匀的薄膜，沉积 0 引言