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单晶炉低功耗勾形磁场设计与优化.pdf
人工
第41 卷第4 期 体学报
晶 Vol. 41 No.4
2012 年8 月 JOURNAL OF SYNTHETIC CRYSTALS
担旦生旦旦
单晶炉低功耗勾形磁场设计与优化
安涛，高勇，张创
(西安理工大学，西安 71ω48)
摘要:本文提出了一种低功耗的新勾形磁场结构，来解决现有勾形磁场功耗过大的问题。并以 8 英寸单晶炉勾形
磁场为研究对象，利用有限元法对线圈臣数、电流大小、线圈间距等参数对磁场强度及其分布的影响进行了模拟分
析和优化设计。结果表明:在柑塌壁处产生横向磁场强度均为492 GS 时，线圈内径820mm、线圈间距2∞mm 等结
构相同，而线圈臣数分别为2400 臣的新结构与96 臣的现有结构磁场相比，总功率从现有结构的 38.9 kW 降低到
9.8 kW( 降低了74.7% )。该研究为勾形磁场得以广泛应用提供了一种新的设计思路及设计方法。
关键词:单晶炉;勾形磁场;磁场强度;低功耗
中图分类号:TN304 文献标识码:A 文章编号:10∞-985X( 2012) 04-1113 -06
Optimal Design and Analysis of Cusp Magnetic Field
in Mono-crystal Furnace of Low Power Consumption
AN Tao , GAO Yong , ZHANG Chuαng
( Xi，皿 University of Technology. Xián 71∞48. China)
( Reæived 23 May 2012. 即回pted 1June 2012 )
Abstract :This paper proposes a new cusp magnetic field structure of low power consumption to solve the
high power consumption of existing cusp magnetic field. The magnetic field strength and distribution in 8
inch mono-crystal fumace were simulated and optimized by using the finite element method , at the same
time considering the factors of influence , such as the coil tums , coil current , coil distance. The results
show that: when the radial magnetic field strength is 492 GS in the crucible wall , comparing the 24∞
tums new magnetic field with the 96 tums existing magnetic field on the
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