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第四章电浆放电基本原理
薄膜工程 周麗新
第四章 電漿放電基本原理
電漿放電 為一由離子、電子及中性質點所組成的部份
(plasma discharge)
游離的電中性的氣體 ，氣體中帶電質點的密度高到足以產生明顯的庫倫交
互作用 ，而且這些交互作用強到使得帶電質點表現出流體的行為，並且決
定許多電漿的性質 。目前許多薄膜製程是在電漿環境下進行，因此本章僅
就薄膜製程時所需要知道的基本電漿知識做一介紹 ，首先將介紹電漿中的
電子能量分佈 、繼而介紹原子碰撞及分子碰撞、最後將介紹電漿中的電位
分佈以及磁場的效應 。
第一節 電漿能量分佈
1.1 分佈函數
電漿的許多性質是由氣體中帶電荷的質點所決定 ，因此描述電漿
的行為必需由帶電荷質點的行為出發 ，而氣體中帶電荷質點的行為則
必需使用氣體動力論的分佈函數加以定量敘述 ，因此在介紹電漿能量
分佈之前 ，首先要復習氣體動力論之速度分佈函數、速率分佈函數
(speed distribution function) 及 能 量 分 佈 函 數(energy distribution
function) 。
r dn
對一熱力平衡的氣體 ，其質點的速度分佈 可以馬
f (v)
dv dv dv
x y z
克斯威爾分佈函數 表示 ：
(Maxwellian velocity distribution function)
3
2 Ê r 2 ˆ
r Ê m ˆ mv
f (v) = nÁ ˜ exp - ，
Á ˜
Ë 2pkT¯ Ë 2kT ¯
r
其中 為質點速度， 為質點質量， 為質點密度， 為菠次曼常數，
v m n k
為氣體溫度。質點的速率分佈函數 則可表示為 ：
T f(v)
3
2 Ê m ˆ 2 Ê mv2 ˆ
f v 4 v n ，
( )= p Á ˜ expÁ - ˜
Ë 2pkT¯ Ë 2kT ¯
而質點的能量分佈函數 則可表示為 ：
f( )
e
141
薄膜工程
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