纳米光波导光滑技术研究进展-红外与激光工程.PDFVIP

第42 卷第11 期 红外与激光工程 2013 年11 月 Vol.42 No.11 Infrared and Laser Engineering Nov.2013 纳米光波导光滑技术研究进展 1，2 1，2 1，2 1，2 1，2 1，2 石 强 ，桑胜波 ，张文栋 ，李朋伟 ，胡 杰 ，李 刚 (1. 太原理工大学 微纳系统研究中心, 山西 太原 030024; 2. 太原理工大学 新型传感器与智能控制教育部和山西省重点实验室，山西 太原 030024) 摘 要 随着半导体工业的发展，集成光电器件的特征尺寸越来越小，纳米光波导表面光滑技术将面临新 的挑战。降低纳米光波导表面粗糙度，制造超低损耗纳米光波导，实现其高效片间光互连与片内光耦合，是 集成光电子器件，特别是高灵敏微陀螺、生化传感器、光通讯等器件发展的关键。主要分析了光波导表面粗 糙度与传播损耗的关系，着重 述纳米光波导表面光滑工艺方法，包括热氧化法、氢退火法及激光束法的 研究现状及最新进展，总结了各类工艺的技术难点与发展前景，并展望其在微机电、光集成方面应用前景。 ； ； 关键词 光滑工艺 纳米光波导 表面粗糙度 中图分类号 TN305.2 文献标志码 A 文章编号 1007-2276(2013) 11-3040-07 Research development of nano optical waveguide smoothing technology Shi Qiang1,2, Sang Shengbo1,2, Zhang Wendong1,2, Li Pengwei1,2 , Hu J ie1,2, Li Gang1,2 (1. MicroNano System Research Center, Taiyuan University of Technology , Taiyuan 030024, China 曰 2. Key Laboratory of Advanced Transducers and Intelligent Control System, Shanxi Province and Ministry of Education, Taiyuan University of Technology , Taiyuan 030024, China) Abstract: With the development of semiconductor industry the critical dimension of integrated optoelectronic devices are becoming smaller and smaller, the technology of smoothing nano optical waveguide surface are facing new challengs. Reducing the nano optical waveguide surface roughness, manufacturing ultra -low loss nano optical waveguide and achieving the efficient optical interconnection and inside coupling between chips are the k