聚焦离子束加工技术.PDF

微纳米加工— 聚焦离子束加工 微纳米加工微纳米加工 聚焦离子束加工技术 岳双林 微纳米加工— 主要内容主要内容 聚焦离子束加工 应用背景 聚焦离子束系统介绍 聚焦离子束加工原理 聚焦离子束加工技术主要 应用领域举例 双束FIB使用技巧 2 微纳米加工— 聚焦离子束加工 应用背景： 随着超大规模集成电路工艺向亚微米、深亚微米领域迈 进进, 集成电路产品的特征尺寸越来越集成电路产品的特征尺寸越来越小, 器件结构越来越复器件结构越来越复 杂, 相应的电路设计、工艺诊断、失效分析工作也就变得更 加复杂和更加困难加复杂和更加困难. 聚焦离子束能在微米和亚微米的线度上对器件和材料进 行微细加工，在集成电路设计排错、工艺检查、失效分析 及透射电镜辅助制样等方面都有着十分重要的应用。 3 微纳米加工— 聚焦离子束加工 聚焦离子束 （focused ion beam, 简称FIB) 与聚焦电子束在 本质上是一致的，都是带电粒子经过电磁场聚焦形成细束，区 别在于它们的质量，离子的质量远远大于电子的质量，离子束 也可以像电子束那样用来曝光也可以像电子束那样用来曝光，但离子由于具有较重质量也可但离子由于具有较重质量也可 以直接将固体表面的原子溅射剥离，因此聚焦离子束更广泛地 作为作为一种直接种直接加工工具具。。 4 J. Vac. Sci. Technol. B 22(2004)3137 微纳米加工— 聚焦离子束加工 聚焦离子束系统： 离子源 FIB 系系统大致致 离子束聚焦离子束聚焦// 可分为三个主 扫描系统 要部分： 样品台样品台 5 离子束聚焦系统结构示意图 微纳米加工— 聚焦离子束加工 离子源离子源是聚焦离子束系统是聚焦离子束系统 的心脏，真正的聚焦离子束 始于液态金属离子源的出现， 液态金属离子源产生的离子