52 材料的表面改性.ppt

设：单个离子入射能量为E0，在靶内 x 处的能量为 E， Sn(E)为核阻止本领； Se(E)为电子阻止本领； N 为单位体积内靶原子的平均数； 则核阻止和电子阻止两者引起的单位距离上的能量损失 对上式积分可得到射程 R （分别表示离子在靶内通过厚度为Δx时传递给靶内原子核和电子的能量） R ？ 对离子注入具有实际意义的是投影射程Rp，以及它的标准偏差ΔRp（表示入射离子的投影射程的分散特性） 因为碰撞过程是随机的，则各离子的射程R不同。 R、Rp和ΔRp的意义示于下图 （4）注入元素的浓度分布 注入元素种类 非金属： N、C、B 耐蚀抗磨金属元素： Ti、Cr、Ni 固体润滑元素： S、Mo、Sn、In 耐高温元素： Y及稀土元素 注入离子浓度随深度分布呈Gauss分布 注入元素离子的轨迹与浓度分布 （5）离子注入改性的一般机理 损伤强化作用 注入掺杂强化（沉淀强化） 间隙固溶强化 偏聚强化（与位错之作用） 喷丸强化作用（残余压应力） 增强氧化膜，提高润滑性 （6）基底材料-注入离子种类-性能之间的组合关系 （7）离子注入在磨损件中的应用 （8）离子注入工艺技术的优缺点 优 点 由于离子能量很高，离子注入过程为非热力学平衡过程，可将在热力学上与基体不互溶的元素注入基体中。可形成常规方法得不到的新合金相。 注入层与基体材料无明显界面，力学性能连续过渡，保证注入层与基体得匹配。 真空处理技术，工件无变形、无氧化，尺寸精度高，表面状态好。 抗蚀氮化：形成ε相层 0.01-0.06mm，20-30min 4）氮化组织 （2）离子氮化 1）原理 气体放电方式及其伏安特性曲线 辉光放电的光区和有关特性曲线 在低于常压的渗氮气氛中，利用工件（阴极）和阳极间产生的辉光放电进行渗氮。 工件阴极、真空罩阳极、辉光放电、电离N+、H+ 广泛用于机械零件、模具的表面处理，具良好的韧性耐磨性及较高疲劳强度。 在离子渗氮真空室中，少量的充入NH3或（N2+H2混合气），在辉光放电过程被电离成N+与H+，并被电场加速。一部份离子直接渗入工件内部，一部份轰击工件表面，使工件升温，并从阴极表面打击出电子和原子（阴极溅射）。溅射出的Fe原子和带电原子态氮结合形成FeN，被吸附在工件表面。FeN受离子轰击后变成低价Fe2-3N，而放出氮。其中一部份N原子将渗入工件，并向内扩散形成氮化层。 2）离子氮化工艺 电流密度： 气参数： 组成、气压、流量 热参数： 温度、时间 3）氮化层组织与性能 比气体氮化硬度更高。 4. 碳氮共渗 向钢工件表层同时渗入碳和氮的过程，多用气体碳氮共渗。 概念 工艺 中温气体、C、N共渗； 以渗C为主。820℃-860℃、煤油或渗C气 + 氨气 2）低温气体碳氮共渗； 以渗N为主，又称软氮化 在570℃温度下通入甲酰胺、三乙醇胺、尿素、醇类与氨等渗剂分解生成的活性[C][N]原子完成共渗，保温2～3h。渗层硬度虽较低，但韧性好，不易脱落。 在820～860度密封炉内通入煤油（渗碳气体）与氨或含氮有机液体，产生活性原子和N原子完成同时渗C、渗N。但以渗C为主，渗速更快，硬度更高，且可直接油淬，变形小。 6．3 三束表面改性 “三束”指激光束、离子束、电子束。 三束改性的特点： （1）激光束： 加热、冷却速度极快；温度梯度 106-8K/cm；冷却速度 106-10K/S （2）离子束： 异类原子直接注入材料表面进行表面合金化。引入的原子种类和数量不受常规热力学条件的限制。 （3）三束加热速度极快，基体材料几乎不受影响。 6.3.1 激光束表面改性技术 6.3.2 离子束表面强化 6.3.3 电子束表面改性 6．3．1 激光束表面改性技术 1. 激光束产生原理 具亚稳态能级结构的物质受到外界能量激发时变成激活介质，激活介质受到激发产生光子辐射。 当激活介质放在由一个全反射镜和部分反射镜构成的光学诣振腔中，激活介质受到激发产生光子辐射。在辐射过程中引起连锁性的受激辐射，使辐射加强。 反射镜使光子在腔内不断传播、反射、形成光振荡，最后在部分反射镜端发出频率、相位、传播和振动方向相同的光子——激光。 具亚稳态能级--激活介质--产生光子辐射--引起连锁性的受激辐射--光子在腔内不断传播、反射、形成光振荡--发出频率、相位、传播和振动方向相同的光子 2. 激光的发展概况 Laser theorized in the 1950’s Laser first demonstrated in 1960 Models established for optical applications by 1965 Introduced in metalwor