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柔性机构优缺点与关键技术介绍
_____________________;【柔性机构】（1页）;1;2;2;3;【1】通过选择材料来增大柔性机构的行程;3;3;TIPS：
1.对于压电陶瓷存在的迟滞（一般在14%左右但迟滞曲线不唯一）、蠕变现象的减小方法:
1)采用电荷控制方法;
2)采用在压电陶瓷两端串联小电容的方法; 3)Preisach数学模型;
4)通用化的Maxwell 模型;
5)多项式近似模型;
6)采用电阻和电容组成桥路;
7)压电陶瓷元件位移闭环（现有的控制方法有PZT控制和变速积分的PI控制等）。
2.压电元件的输出位移随着负载刚度的增加而减少。
3.驱动器与执行器甚至传感器一体化集成设计——对整块的PZT或SMA材料进行激光切割，可免于装配，降低造价，甚至达到减振的功效，而且对于改善机构甚至系统的动态性能也是大有禆益的。;3;TIPS：
3个原则：
1.高精度原则：欲保证运动输出端的高精度，除了选择类似高精度驱动器外，运放机构也需要有高精度作保??；
2.功效损耗最小原则：运计机构作为传动系统，总要造成输入端一定程度的功率损耗，原则上，这种功率损耗应该越小越好；
3.运放倍数决定运放机构拓扑结构原则：一般情况下，结构越简单，性能越稳定，但是放大倍数也越小。;简单的并联机构：;【1】柔性铰链的选择;【2】结构形式的选择;机构设计的一般流程;【刚度分析】;电火花加工法（WEDM）：利用工件和工具电极之间的脉冲性火花放电, 产生瞬时高温使工件材料局部熔化和汽化, 从而达到蚀除加工的目的。电火花加工由于其非机械接触加工的特点, 很适合MEMS制造的要求。;3;3;【1】材料
【2】驱动
【3】运放机构
【4】并联机构;That’s all,
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