数字PID控制在运动控制系统中应用_高彬娜.pdf

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2017-06-23 发布于湖北
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6 中国电子科学研究院学报 Vo.l 1 No. 6 2006 12 Journal of CAEIT Dec. 2006 PID 高彬娜 (中国电子科技集团公司第 45研究所, 河北燕郊 065201) : 在半导体设备运动过程中, 效的调节数字 PID控制参数可以提高设备运动的稳定性和可靠性, 利用积分分离的算法来实现具最佳组合的 PID控制 : 运动控制; 数字 PID; PID控制 : TN 41 : A : 16 3- 5692( 2006) 06- 564- 04 The applications of digitalPID control formotion control system GAO Bin-na (The 45 th Research Institute of CET C, H ebeiYanjiao 065201, Ch ina ) Abstract: In themotion of sem iconducting equ ipment, better d igital PID control parameters can mi prove stability and reliab ility of equipment. U sing separate integral arithmetic can get optmi alPID contro.l K ey words: Motion control; D igitalPID; PID control , 1 1 , PID , PID( P), ( I) ( D), , PID, , 1 , PID , 2 3 PID , , , , , ( P)( I) ( D) , PID , : 2006-09-11 : 2006-12-8 2006 6 : PID 565 PIDPID , , , , , 0, + (P I ) , 311 PID ( 3) PID 2, (), , PID ,