集成微流控芯片资料.pdf

2011 年 第 56 卷 第 23 期： 1855 ~ 1870 《中国科学》杂志社 评 述 SCIENCE CHINA PRESS 集成微流控芯片 ①② ①② ①② ①②* 赵亮 , 申洁 , 周宏伟 , 黄岩谊 ① 北京大学工学院, 北京 100871; ② 北京大学生物动态光学成像中心, 北京 100871 * 联系人, E-mail: yanyi@ 2010-12-08 收稿, 2011-01-28 接受 国家重点基础研究发展计划(2007CB714502)、国家自然科学基金、北京市自然科学基金(2082011)和 中国博士后基金资助项目 摘要 作为一种能够在微米级尺度操纵液体的新兴技术, 微流控芯片已经受到科学家们的广 关键词 泛关注. 高密度集成的微流控芯片装置可以实现高通量并行化的实验以及多种操作单元的功 微流控 能一体化, 作为一种新的方法学平台, 已经越来越多地应用于化学和生命科学的研究中. 本 集成化 文着重介绍了集成化微流控芯片装置的基本概念、构建方法、及其在细胞生物学、分子生物 多层软蚀刻 聚二甲基硅氧烷 学以及化学合成应用研究中的最新进展, 尤其强调了集成微流控芯片系统在传统方法难以达 单细胞分析 成或实现的单细胞和高通量的研究中的优势, 展望了集成化微流控芯片在化学以及生命科学 中的应用前景. 微流控(microfluidics) 技术是一种针对极小量 种管材等. 在这些实验中, 通常所运用的体积单位是 (10−9~10−18 L) 的流体进行操控的系统科学技术. 微流 毫升(常见于化学实验) 和微升(常见于生物学实验). 控芯片(microfluidic chips)是微流控技术实现的主要 在与生命科学相关的研究中随着通量的上升和样品 平台和技术装置, 其主要特征是容纳流体的有效结 量的限制, 我们所研究的体系开始使用更小的体积 构(通道、反应室和其他某些功能部件)至少在一个维 尺度, 这就需要我们用新的技术手段来进行更小尺 度上为微米级尺度. 在这一尺度下, 流体的运动具有 度下的实验操作与观测. 微流控芯片就是在这样的 自己的特点, 与宏观尺度大不相同. 随着半导体微加 一种需求下应运而生的技术, 用以进行微量甚至极 工工艺技术在微流控芯片制备中的广泛应用, 以及 微量液体的操纵与分析. 使用弹性材料多层构建等新技术的发展, 人们已经 1975 年, 斯坦福大学的 Terry 等人[1]在硅片上制 可以将多种功能性的元件和结构规模集成在一块几 作了第一个小型的气相色谱分析仪, 这个仪器中的 个平方厘米大小的芯片上. 我们将这种包含多种结 关键部件是一个在硅片上通过微加工手段蚀刻的微 构或多个功能的、精确可控的复杂微流控芯片称之为 细通道, 可以形象地看作是一根利用硅片制备的毛 “集成微流控芯片”, 在本文中我们将主要介绍这种 细管类似物. 这个芯片可能是第一个现代意义上的 规模集成的微流控芯片技术, 以及该类型芯片在化 实用型“微流控”器件. 它的特点是体积小、分析所需 学及生命科学领域的部分应用. 时间短, 但是由于技术限制, 这种硅芯片并未引起广 化学及现代生物学的大部分实验都是在溶液状 泛重视. 随后, 微流控技术的发展相对缓慢, 直到 态下进行的,