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氢气浓度对常压化学气相沉积ZrC涂层的影响-中国有色金属学报
20 9 2010 9
Vol.20 No.9 The Chinese Journal of Nonferrous Metals Sep. 2010
1004-0609(2010)09-1795-07
ZrC
( 410083)
ZrCl -CH -H -Ar C/C (APCVD)(ZrC)
4 4 2
X (XRD) (SEM) H ZrC H
2 2
H H H
2 2 2
ZrC H ( ) 30%
2
ZrC H 90% ZrC (111) (200) (220)
2
ZrC H
2
TQ134.1 A
Effect of hydrogen concentration on preparation of
ZrC coating by APCVD
LI Guo-dong, ZHENG Xiang-lin, XIONG Xiang, SUN Wei
(State Key Laboratory of Powder Metallurgy, Central South University, Changsha 410083, China)
Abstract: Zirconium carbide (ZrC) coatings were prepared on carbon-carbon composites substrates by means of
atmospheric pressure chemical vapor deposition (APCVD). ZrCl -CH -H -Ar system was used in this deposition process.
4 4 2
And the effect of different hydrogen concentration on coating properties was studied by X-ray diffractometry (XRD) and
scanning electron microscopy (SEM). The mechanism of hydrogen in the deposition process was also studied. Th
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