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硅外延及其应用-云南冶金
２０１３ ６ Ｊｕｎ．２０１３
４２ ３ （ ２４０ ） ＹＵＮＮＡＮＭＥＴＡＬＬＵＲＧＹ Ｖｏｌ４２．Ｎｏ３（Ｓｕｍ２４０）
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（１．ＫｕｎｍｉｎｇＹｅｙａｎＮｅｗ－ＭａｔｅｒｉａｌＣｏ．，Ｌｔｄ．，Ｋｕｎｍｉｎｇ，Ｙｕｎｎａｎ６５００３１，Ｃｈｉｎａ；
２．ＣｏｌｌｅｇｅｏｆＣｈｅｍｉｃａｌＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＫｕｎｍｉｎｇＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，
Ｋｕｎｍｉｎｇ，Ｙｕｎｎａｎ６５０５００，Ｃｈｉｎａ）
ＡＢＳＴＲＡＣＴ：Ｓｉｌｉｃｏｎｅｐｉｔａｘｙｇｒｏｗｔｈｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙｉｓｉｎｔｒｏｄｕｃｅｄ，ａｎｄｔｈｒｅｅｋｉｎｄｓｏｆｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓａｐｐｌｉｅｄｔｏｓｉｌｉｃｏｎｅｐｉｔａｘｙａｒｅｓｕｍｍａ
ｒｉｚｅｄ：ｍｏｌｅｃｕｌａｒｂｅａｍｅｐｉｔａｘｙ（ＭＢＥ），ｃｈｅｍｉｃａｌｖａｐｏｒｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ（ＣＶＤ），ｌｉｑｕｉｄｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ（ＬＰＥ），ａｎｄｔｈｅａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｏｆＳｉｂａｓｅｅｐｉｔａｘｉ
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