Ti6Al4V表面电弧离子镀TiAIN涂层的高温防护性能.pdfVIP

材料热处理(12 ●材料保护● Ti6AI4V表面电弧离子镀TiAIN涂层的 高温防护性能 潘晓龙，王少鹏，李争显，黄春良 (西北有色金属研究院，陕西 西安710016) 摘 要：采用独立的高纯钛靶和铝靶，在TC4钛合金基材表面以电弧离子镀工艺沉积制备了TiAIN涂层。利 用扫描电镜(SEM)对比分析了钛合金基体和涂层氧化前后的表面形貌，利用能谱仪(EDS)分析了氧化前后的表面 成分变化，利用X射线衍射(XRD)分析了氧化前后的相结构。结果表明，TiA1N涂层表现出很好的高温稳定性能， 显著改善了钛合金的高温抗氧化性。 关键词：Ti6A14V钛合金；TiA1N涂层；电弧离子镀；抗氧化 中图分类号．．TG174．444；TG146．T3 文献标识码：A 文章编号：1001．3814(2007)24．0068．03 High Temperature Protection Properties of TiAIN Coating Prepared by Arc Ion Plating on Surface of Ti6AI4V Titanium Alloy PAN Xiao-long，WANG Shao-peng，LI Zheng-xian，HUAN G Chun-liang (Noahwest 疵姚for Non-ferlou$Metal Research，Xian 710016，China) Abstract：Using separate high—purity Ti and A1 target，TiA1N coating was percipitated on the surface of Ti6A14V by arc ion plating technique．The surface morphologies，composition of Ti6A14V and phase structure of TiA1N coating before and after the oxidizafion testing were analyzed respectively by means of scanning electron microscope(SEM)， energy dispersing spectrum (EDS)and X-ray diffraction(XRD)．The results show that TiA1N coating has good high-temperaure stability．and the high temperature oxidation resistance of Ti6A14V is considerably improved． Key words：Ti6A14V alloy；TiAIN coating；arc ion plating；oxidation resistant 钛合金具有密度小、比强度高、耐腐蚀性好、 本试验采用电弧离子镀技术在Ti6Al4v合 可焊性好等优点，广泛应用于航空航天领域。随 金基片上沉积制备了TiAlN涂层，通过氧化增重 着新技术的不断发展。要求钛合金的使用温度不 实验及氧化后涂层的物相分析探讨了钛合金表面 断提高，钛合金的氧化问题变得日益突出，在某种 电弧离子镀TiAlN涂层的抗氧化行为。 程度上影响了钛合金构件的安全性和可靠性 】。 1 实验过程及方法 近年来。采用物理气相沉积技术对金属材料进行 表面改性的研究取得了飞速发展，对钛合金的防 1．1 T lN涂层的制备 护涂层也做了大量研究工作，新的方法也不断涌 涂层沉积设备为自行研制的sP．0810AS型 现。TiA1N薄膜具有很高的热稳定性和抗高温氧 多功能真空离子镀膜机，该设备配置有圆形电弧 化性能。同