镀膜机简介 - 北京迪通恒业科技有限公司.PDFVIP

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2017-06-24 发布于天津
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镀膜机简介富森钛金迪通恒业科技联合出品 1 真空镀膜机的结构真空镀膜机 • 富森钛金的结构 • 迪通恒业科技 • 联合出品抽真空系统电气系统镀膜室机械泵油扩散泵物理方法沉积薄膜真空镀膜方式离子镀膜蒸发镀膜溅射镀膜 2 蒸发镀膜(法拉第，1857) 加热方式：电阻法电子束高频感应 3 • 富森钛金 • 迪通恒业科技 • 联合出品 4 离子镀膜(麦托克斯,1963) 将气体的辉光放电、等离子体技术与真空蒸发镀膜结合起来真空蒸发与阴极溅射技术的结合 5 溅射镀膜(1870年) 辉光放电是溅射技术的基础。辉光放电：真空度为10- 1~10-2 Torr，两电极间加高压，产生辉光放电。电流电压之间不是线性关系，不服从欧姆定律。 6 蒸发、溅射和离子镀特点比较粒子荷能量类型沉积速率绕射性电性（eV ）蒸发中性 0.10.3 高差溅射中性 3 10 低差离子镀带正电 10100 高好 • 富森钛金 • 迪通恒业科技 • 联合出品 8 溅射与蒸镀法的原理及特性比较溅射法