镍钛合金表面锆膜磁控溅射制备与组织结构研究.PDFVIP

第 38 卷 第 2 期 稀有金属材料与工程 Vol.38, No.2 2009 年 2 月 RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERING February 2009 镍钛合金表面锆膜磁控溅射制备与组织结构研究 1 1 1 1 1 1 吉宏林 ，储成林 ，王如萌 ，张旭海 ，张文艳 ，董寅生 ， 郭 超 1 1 1 2 ，盛晓波 ，林萍华 ，朱剑豪 (1. 东南大学，江苏 南京 211189) (2. 香港城市大学，香港) 摘 要：通过直流平衡磁控溅射法在 NiTi 形状记忆合金基底上制备纯 Zr 膜，并采用 SEM、XRD 、XPS 等对 Zr 膜的 组织结构进行研究。结果表明：Zr 膜具有晶带 T 型结构，组织保持细小致密的纤维状特征，没有空洞和锥状形态，表 面平整，与基体结合良好；膜和其块体 Zr 靶材晶体结构一致，出现少量的生物惰性 ZrO2 陶瓷相。最后，对磁控溅射沉 积 Zr 膜的机制进行了探讨。 关键词：NiTi 形状记忆合金；磁控溅射；Zr ；膜；表面改性 中图法分类号：TG139+ .6 文献标识码：A 文章编号：1002-185X(2009)02-0295-04 NiTi 形状记忆合金（NiTi SMA ）由于具有独特的 离子析出，提高NiTi SMA 的生物相容性，本实验通过 形状记忆效应及良好的生物相容性，使其成为极具应 直流平衡磁控溅射在NiTi SMA表面沉积Zr膜，研究Zr 用前景的医用金属材料[1,2] 。但它含有近50% 的Ni 元 膜的表面和横断面形貌，探讨其成膜机制，分析膜的 素，作为人体植入物，在体液腐蚀作用下NiTi SMA释 相组成、化学成分和元素价态。 放的Ni 离子对生物体有潜在的生物毒性作用，限制其 在医学上的广泛应用[3] 。因此对NiTi SMA进行表面改 1 试样制备与实验方法 性，提高其抗腐蚀性和生物相容性非常有必要，并已 1.1 试样制备 [4~8] 成为研究热点 。 将Ni-49.2at%Ti 合金线切割成10 mm ×10 mm ×1 蔡伟等人用电弧离子镀的方法在NiTi SMA 表面 mm 的小块，经金相砂纸由粗到细逐级打磨，用去离子 沉积可以抑制Ni离子析出的Ta镀层[9] 。T. Sonoda等人 水超声漂洗10 min。用高氯酸+醋酸混合溶液将试样电 为了提高NiTi SMA 的生物相容性，用磁控溅射法在不 化学抛光至镜面，依次在丙酮、乙醇和去离子水中超声 同基底温度下沉积纯Ti膜，研究膜的表面形貌、相组 清洗15 min后在室温下通风干燥。试样分为两组，一组 [10] 成和力学性能 。 用于对照，一组放入JGP450A2型超高真空磁控溅射机， -3 3 磁控溅射在微电子、光学、材料等方面用于膜的 抽真空至1×10