附件25扫描探针显微镜仪器通则-征求意见稿-高校分析测试中心.DOCVIP

ICS 附件25 点击此处添加中国标准文献分类号 JY 中华人民共和国教育行业标准 JY/T XXXXX—XXXX 扫描探针显微镜仪器通则 General rules for scanning probe microscope 点击此处添加与国际标准一致性程度的标识 （本稿完成日期：2015/9/22） XXXX - XX - XX发布 XXXX - XX - XX实施 中华人民共和国教育部发布 目次 前言 II 1　范围 1 2　规范性引用文件 1 3　术语与定义 1 4　原理 3 5　仪器 3 6　仪器工作条件和要求 4 7　扫描器和探针的选择 4 8　样品及其制备 4 9　成像模式和操作步骤 5 10　数据处理和分析 7 前言 本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。 本标准由中华人民共和国教育部提出。 本标准由全国教育装备标准化技术委员会化学分技术委员会（SAC／TC125／SC5）归口。 本标准起草单位：上海交通大学分析测试中心、汕头大学、西南科技大学、北京大学、华东理工大 学和东华大学。 本标准主要起草人员：李慧琴、陈耀文、胡海龙、潘伟、王邵雷、路平。 扫描探针显微镜仪器通则????? 范围 本标准规定了用扫描探针显微镜仪器进行表面微区形貌和性能分析的通用规则。 本标准适用于用描探针显微镜在大气、真空和液体环境中表面微区形貌和性能分析。 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB／T 27760—2011 利用Si(111)晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法 GB／T 31227-2014 原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法 GB/ T 31226-2014 扫描隧道显微术测定系统部件表粗糙度的方法 术语与定义 下列术语和定义适用于本文件。 扫描探针显微镜canning probe microscope 所有用探针机械式地在样本扫描探测样本物理量(穿隧电流、原子力、摩擦力、磁力等) 扫描显微镜e? 通过导电性探针与间的距离扫描控制探针与间隧电流表面 扫描式电容显微镜scanning ?capacitance ?microscope 感应探针与间的分布。 扫描式近接场光学显微镜 canning near field Optical microscope 使用光学量测方式探针与间约 100nm 以下近距离扫描，传递各种光学讯息来作为光学显微3.5 原子力显微术 atomic force microscopy 国家标准GB/T 27760-2011中有描述。 3.6 接触模式 contact?mode 整个扫描成像过程之中，探针针尖始终与样品表面保持接触。 3.7 非接触模式 non-nontact mode 探测样品表面时探针在距离样品表面一定距离，不接触表面。 3.8 轻敲模式 探针在外力驱动下共振，探针性的接触样品表面。 相位成像 phase?imaging 在非接触式下，利用相位的变化差异测定表面物性 3.10 磁力显微镜e? 测定磁性探针与间磁力作用表面的磁场分布 3.11 静电力显微镜e 测定探针与间力作用表面的场分布 3.12 侧向摩擦力显微镜e 在接触式模式下产生的扭转角度讯号探测的摩擦。 扫描canner 用来控制扫描区域探针或样品在X、Y和Z方向的位移，从而得到表面的三维形貌尺寸，通常是由压电陶瓷组成。 3.14 力-距离曲线 force–distance curve 通过移动探针与样品之间的距离，测出作用力随距离的变化而得到的曲线。 原理 扫描隧道显微镜（STM）的基本原理 国家标准GB/ T31226-2014中有关于扫描隧道显微镜原理的部分描述。主要是利用量子隧道效应，以极细探针和被研究物质的表面作为两个电极，当样品与针尖的距离非常接近时（通常小于1nm），在外加电场的作用下，电子会穿过两个电极之间的势垒流向另一电极产生隧穿效应，并生成隧道电流I。隧道电流I是电子波函数重叠的量度，与针尖和样品之间距离S有如下的关系： (1) 式中： ——IT为隧道电流，单位为安陪（A）； ——VBias为探针与样品之间的偏置电压，单位为伏特（V）； ——C为常数； ——S为针尖与样品之间的距离，单位为纳米（nm）。 原子力显微镜（AFM）的基本原理 使用一个一端固定而另一端装有针尖的弹性微悬臂来检测样品表面形貌或其他表面性质。国家标准GB/T 31227-2014中有详细的描述。 仪器 仪器类型 扫描探针显微镜有探针扫描和样品扫描两种类型。 仪器组成 力、电流等物理特性检测部分。 位置检测部分 由压电