传感器原理及应用-第5章2.pptVIP

第五章 压电式传感器 一、压电效应 二、压电材料 三、压电传感器的测量电路 四、压电传感器的应用 本章重点： 石英晶体的压电效应演示 ③电荷放大器较之电压放大器的优点是输出不受电缆分布电容Cc的影响，低频特性好；缺点是线路复杂，调整困难，成本较高。 一、压电式加速度传感器 二、压电式压力传感器 三、压电式流量计 四、集成压电式传感器 五、压电式传感器在自来水管道测漏中的应用 §5-4、压电式传感器的应用 一、 压电式加速度传感器 当传感器感受振动时，因为质量块相对被测体质量较小，因此质量块感受与传感器基座相同的振动，并受到与加速度方向相反的惯性力F＝ma。惯性力作用在压电陶瓷片上产生电荷为 运动方向 2 1 3 4 5 图5-21 纵向效应型加速度 传感器的截面图 （一）结构原理 一般有纵向效应型、横向效应型和剪切效应型三种，纵向效应型最常见。 压电陶瓷4和质量块2为环型，通过螺母3对质量块预先加载，使之压紧在压电陶瓷上。测量时将传感器基座5与被测对象牢牢紧固在一起。输出信号由电极1引出。 此式表明电荷量直接反映加速度大小。其灵敏度与压电材料压电系数和质量块质量有关。 为了提高灵敏度，要求选择压电系数大的压电陶瓷片。若增加质量块质量会影响被测振动，同时会降低振动系统的固有频率，因此一般不用增加质量办法来提高传感器灵敏度。 用增加压电片数目和采用合理的连接方法也可提高传感器灵敏度。 提高传感器灵敏度的办法 q＝d33F＝d33ma 图(a)为并联形式，片上的负极集中在中间极上，其输出电容C?为单片电容C的两倍，但输出电压U?等于单片电压U，极板上电荷量q?为单片电荷量q的两倍，即 连接方式： + + － － (a)并联 (b)串联 + + － + + － － 图5-22 叠层式压电元件 并联接法，输出电荷大，时间常数大，宜用于测量缓变信号，并且适用于以电荷作为输出量的场合。 串联接法，输出电压大，本身电容小，适用于以电压作为输出信号，且测量电路输入阻抗很高的场合。 + － (b)串联 + + － － 图(b)为串联形式，正电荷集中在上极板，负电荷集中在下极板，而中间的极板上产生的负电荷与下片产生的正电荷相互抵消。从图中可知，输出的总电荷q?等于单片电荷q，而输出电压U?为单片电压U的2倍，总电容C?为单片电容C的一半，即 （二）动态响应 压电式加速度传感器可用质量m，弹簧k、阻尼c的二阶系统来模拟，如图示。 设被测振动体位移x0，质量块相对位移xm，则质量块与被测振动体的相对位移为xi，即 根据牛顿第二定律有 图5-23 二阶模拟系统 突出优点是性能非常稳定，机械强度高，绝缘性能也相当好。但价格昂贵，且压电系数比压电陶瓷低得多。因此一般仅用于标准仪器或要求较高的传感器中。 石英晶体的特点 石英是一种各向异性晶体，因此，按不同方向切割的晶片，其物理性质（如弹性、压电效应、温度特性等）相差很大。在设计时，应根据不同使用要求正确地选择切型。 石英晶片的切型 切型符号表示方法 IRE（无线电工程师学会）标准规定的切型符号表示法 习惯符号表示法 IRE表示法 IRE标准规定的切型符号包括一组字母（X、Y、Z、t、l、b）和角度。用X、Y、Z中任意两个字母的先后排列顺序，表示石英晶片厚度和长度的原始方向；用字母t（厚度）、l（长度）、b（宽度）表示旋转轴的位置。当角度为正时,表示逆时针旋转；当角度为负时,表示顺时针旋转。 例如：(YXl)35o切型，其中第一个字母Y表示石英晶片在原始位置(即旋转前的位置)时的厚度沿Y轴方向，第二个字母X表示石英晶片在原始位置时的长度沿X轴方向，第三个字母l和角度35o表示石英晶片绕长度逆时针旋转35o，如图。 Z Z O O Y’ Y Z’ X X 35 (a) (b) 图5-12 （YXl）35°切型 （a）石英晶片原始位置 （b）石英晶片的切割方位 Y 又如（XYtl）5o/-50o切型，它表示石英晶片原始位置的厚度沿X轴方向，长度沿Y轴方向，先绕厚度t逆时针旋转5o，再绕长度l顺时针旋转50o，如图。 O O 50° Z Z’ Z Y’ Y 5° Z’’ X Y (a)石英晶片原始位置 (b)石英晶片的切割方位 图5-13 (XYtl)5°/-50°切型 习惯符号表示法 习惯符号表示法是石英晶体特有的表示法，它由两个大写的英文字母组成。例如，AT、BT、CT、DT、NT、MT和FC等，见表5-1。 二、 压电陶瓷 （一）钛酸钡压电陶瓷 钛酸钡（BaTiO3）是由碳酸钡（BaCO3）和二氧化钛（TiO2）按1：1克分