摘要：为了满足快速、精确的测量分析，将激光扫描共聚焦显微镜.DOCVIP

摘 要：为了满足快速、精确的测量分析，将激光扫描共聚焦显微镜（LSCM, Laser Scanning Confocal Microscope）引入的晶硅电池开发和生产过程中，本文阐述了激光扫描共聚焦显微镜的测量原理以及在电池各环节测量中的应用实例，对比了LSCM相对其他现有测量平台的优劣势。 　　关键词：激光扫描共聚焦显微技术；晶体硅；太阳能电池； 　　中图分类号：TK514 文献标识码：A 　　0 引言 　　激光扫描共聚焦显微（LSCM，Laser scanning confocal microscopy）技术，被更多已知的是应用与生物医学领域[1]，用于细胞标本的平面图像和三维（3D）数据采集。相对于普通款式也光学显微镜，“共聚焦”通过聚焦的激光对样品进行扫描，这种方法可以排除焦点意外的部分反射光干扰，使侧向和轴向的分辨率提高。LSCM的测量方法可以达到0.001μm甚至更精细的分辨率水平，普通宽视野光学显微镜最大理论分辨率为0.2μm，透射电子显微镜分辨率可以到达0.1nm，LSCM介于这两种常用的形态学技术之间，应用于半导体、光伏电池领域具有很多独特的优势。 　　晶体硅太阳能电池，即光伏电池主流产品的一种，从90s开始在国内及全球有了大规模的生产和逐步应用，很多光伏公司曾经涉足“全产业链”模式生产，因此是涵盖了集化工、材料、半导体于一体的多元集成行业。其中电池生产过程，