材料综合实验之电子显微镜.PDF

实验11 材料综合实验之电子显微镜 材料实验教学中心 粘液说→吸盘说→静电说 壁虎脚趾叶状结构上，有着数以百万计的刚毛，每根刚 毛又都分成100-1000根更细的绒毛，这些绒毛极大的增 加了壁虎脚掌的面积 历史 扫描电子显微镜是材料领域应用最为广泛的一种 电子显微镜。SEM既具备光学显微镜制样简单的 优点，又具有昂贵、复杂的透射电镜的众多功能 和适用性。 最早是由德国的Knoll和Von Ardenne首创的; 现代的仪器是由Oatley和他的学生从1948-1965 年的研究成果; 最早的商用SEM是由英国的剑桥仪器公司生产的 Stereoscan; 基本原理 扫描电子显微镜的成像原理:以类似电视摄影显像的 方式，利用细聚焦电子束在样品表面扫描时激发出来 的各种物理信号来调制成像的。 同时采用两个电子束,一电子束轰击试样,而另一电子束轰 击CRT，入射电子轰击试样产生各种电子和光子发射， 选择一种信号，经收集检测和放大后，用来调制第二电 子束的亮度，这样，收集到一个强信号，在CRT上产生 一个亮斑点，同时一个弱信号产生一个暗斑点，两个电 子束的同步扫描使试样上扫描到的每一个点在CRT上有 一个相应的斑点。 典型的电子束在样品和CRT上的扫描呈正交花 样，从一个区域的左上角开始一点一点扫描出一 条平行于顶边的直线，当扫描到该线的末端时， 跳回到开始的一边并扫描第二条线，如此往返直 到整个正交区域布满光栅为止。 每一个完整的图象称为一帧。如果CRT显示的大 小是AXA,试样上扫描区域是BXB,那么放大倍数 为A/B. SEM成像的优点 放大倍率以纯几何方法获得，简单地改变试样上的扫描 区域的大小而改变放大倍率。 在入射电子束的轰击下，激励试样产生各种发射，如电 子X射线可见光热或声均能被收集检测和用来成像。而 且SEM能够对同一个试样给出许多不同的图象。 试样上的同一区域能够同时产生和显示几种不同类型的 图象，能使不同类型的信息相互联系起来，这仅仅需要 对感兴趣的每一种信号提供一个合适的探测器放大器和 显示荧光屏。进而可将这些信息彼此混合产生更多类型 的图象信息。 由于荧光屏上的图象是电信号形成的，后者随电子束的 位置而变化，因此也随着时间而变化，所以可通过电子 学处理来控制图象，或增强衬度，或减少噪声鉴别特征 等。 扫描电子显微 镜是由电子光学系 统，信号收集处 理、图像显示和记 录系统三个基本部 分组成。图3为扫 描电子显微镜构造 原理的方框图。 图3 扫描电镜结构原理方框图 一、电子光学系统 电子光学系统包括电子枪、电磁透镜、扫描线圈和样品 室。 1．电子枪 电子枪是产生电子的装置,它位于电子显微镜的最上部。 随电子枪的种类不同,电子束的会聚直径,能量发散度也不同,这 些参数在很大程度上决定了照射到试样上电子的性质. 电子枪大致可分为:热电子发射型和场发射型两种类型. 热电子发 射型又可 分为钨灯 丝电子枪 和LaB6单 晶型. 场发射电子枪 如果在金属表面加一个强电场,金属表面的势垒就会 变浅,由于隧道效应,金属内部的电子穿过势垒从金