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近场光学毛笔头状弯曲光纤探针的制备* 李鹏飞，潘石，吴世法，李银丽 大连理工大学 物理系，大连 116024 Email ：span@ 摘 要：文章对热拉伸法和腐蚀法相结合，制备双功能弯光纤探针的方法进行了改进。通过 对热拉伸装置拉制工艺的改进以及参数的优化，将光纤拉制成大锥角毛笔头状的探针。用 40%氢氟酸快速腐蚀，使探针的孔径变小，而过渡区和锥角基本不变。利用改进后的方法可 以制作出光纤弯角 120-150 度之间，光纤尖锥角范围在 40-90 度之间,针尖尺度优于 100nm 的毛笔头形状的光纤探针。 采用改进后的方法制作的毛笔头状大锥角光纤探针，可以大大提高近场光的光通率，采 集到更多的样品信息，得到更好的样品图像。改进工艺后的光纤探针成品率达到了 80%以上。 关键词：光纤探针，热拉伸法，化学腐蚀法，探针尖 1.引言 传统的光学成象由于受衍射极限的限制,其分辨率最高约为 λ/2。光子扫描隧道显微镜 （Photon Scanning Tunnel Microscope, PSTM）作为一种特殊形式的近场光学显微镜，可 以突破常规光学显微镜衍射分辨极限，实现纳米级分辨光学成像[1，2]。但 PSTM 的应用有 一定的局限性，它仅对只有形貌起伏的样品或只有折射率变化的样品能分别得到形貌和折射 率图像，而对于既有形貌起伏又有折射率变化的样品（例如生物样品），得到的是二者的混 合图像，造成图像解释困难。为了解决这个问题，本课题组开发了原子力/光子扫描隧道组 合显微镜（Atomic Force/Photon Scanning Tunneling Microscope, AF/PSTM）系统[3-5]， 成功克服 PSTM 图像混合的局限，并于 2002 年 9 月 23 日通过国家教育部技术鉴定。 与其它形式的扫描探针技术一样, AF/PSTM 中最重要的技术之一是探针的制作。探针需 要有高的传输效率和灵敏度。探针形状和针尖大小直接决定着整个系统的传输效率和分辨 率。一个好的光纤探针应该具有尽可能大的锥角和较小的针尖曲率半径(几十至百纳米)。 本文改进了热拉伸与化学腐蚀相结合的光纤探针制作方法。通过优化仪器实验参数，改 进原有制作工艺，可以有效地控制探针针尖的形状以及锥角的大小，成功的制备出光纤弯角 120-150 度之间，锥角在可控制在 40-90 度之间，针尖尺度小于 100nm 的毛笔头状双功能弯 光纤探针。 2.实验装置及制作工艺 *教育部博士点基金（20020141018 ），国家自然科学基金）资助课题 -1- 与直光纤探针相比较，结合我们现有的条件，我们采用并改进了热拉伸法和腐蚀法相结 合的光纤探针制作工艺，并在不同温度下进行腐蚀，制备大锥角弯曲光纤探针。 （1）热拉伸法拉制弯曲光纤探针 本文采用 GQR-3 型光纤程控熔接器 （如图1）对单模通信光纤进行拉伸，先得到弯曲的 光纤探针。 a 自动推进微调架 b 光纤程控熔接器 图 1 光纤程控熔接器 实验中我们采用单模通信光纤，芯径和包层直径分别是 9μm 和 125μm。本文采用的实 验装置 GQR-3 型光纤程控熔接器，操作简单，易用性强，可以制备弯曲光纤探针。在拉制过 程中我们采用的是多次放电加热的方法，可以避免加热不均匀，而且通过多次放电还可以调 节锥度缓变区的长度。 进行热拉伸前，用光纤剥皮钳剥去光纤外层的保护层，裸露长度大约 10-