聚焦离子束（FIB）.PDFVIP

聚焦离子束（FIB） 仪器基本信息 仪器中文名 聚焦离子束 仪器英文名 Focused Ion Beam 仪器型号 Scios 生产厂家 FEI 工作状态 正常 主要技术指标 加速电压 离子束：500V～30kV ，电子束：200V～30kV 离子源种类 液态Ga 离子源 分辨率 离子束：≤5nm@30kV ；电子束≤1.0nm@15kV，≤1.6nm@1kV 探针电流 ≤65nA （FIB ）；1pA～400nA （SEM ） 主要配置与附件 金属沉积系统 可在离子束、电子束诱导下进行Pt 等金属的沉积 可用探头 二次电子探测器、高分辨背散射电子探测器 敏感样品传输 防止样品转移过程中造成的污染 系统 功能用途及样品要求 功能及特点 主要材料的剥离、沉积、注入等加工工艺；除聚焦离子束（FIB）的功能外，兼具扫描电子 显微镜（SEM ）的成像功能。主要功能：TEM 透射电镜样品制备，SEM 扫描电子显微镜结 构分析—可以进行二次电子形貌分析、背散射衬度分析。微纳结构加工：Easylift 纳米操作 手、离子束切割等的配合下，可以进行各种微纳材料的搬运和加工。 测样要求 非磁性块体和粉末材料 联系方式 仪器安放地点 深圳大学城北大园区B 栋110 仪器负责人 付少杰 联系电话 158 1869 1906 Email fusj@pkusz.edu.cn 仪器预约与收费标准 预约说明 接受校内预约，校外预约请直接联系仪器负责人 收费说明 见价目表