蒙特卡罗法模拟新型扫描电镜的工作原理 - 计算物理.PDF

计 算 物 理 第18卷第5期 vd18．N05 PHYsIcs 2001年9月 cHINEsEJouRNALoFcoMPuTATIoNAL ‰j200t [文章编号]1001．246x(2001)05—0470-03 蒙特卡罗法模拟新型扫描电镜的工作原理 蒋昌忠， 李承斌 (武汉大学，物理科学与技术学院，湖北武汉430072) [摘要】 根据新型分析扫描电子显微镜的工作原理及载能电子束和固体相互作用原理，利用蒙特卡罗方法模拟 人射电子和靶物质的相互作用过程，编制了蒙特卡罗模拟计算程序，获得了对应不同电镜工作参数的入射电子背 散射率 [关键词1蒙特卡罗方法；模拟计算程序；扫描电子显微镜；背散射电子 [中圈分类号】TNl6 [文献标识码】A 法模拟人射电子在靶样品中的运动轨迹，根据背散 0引．言 射电子的出射角度及能量判断该电子是否被探测， 从而获得对应不同工作参数的入射电子的背散射 利用扫描电子显微镜中的背散射电子信号可进 率，为探讨电镜工作参数对电镜性能的影响奠定基 行成份分布研究，为克服样品表面形貌起伏带来的 础． 不利影响，已有一种新型的分析扫描电子显微镜问 世m．该电镜的背散射电子探测系统与入射电子束 处于同轴的位置，因此能探测那些散射角位于18001模拟的入射电子散射机制 左右的大角度背散射电子，同时物镜对背散射电子 1．1两次散射之间的自由程 的滤波作用使得只探测损失小部分能量的背散射电 弹性散射截面a。决定两次弹性散射之间的自 子成为可能．该电镜因此有3个可调参数：入射电子 由程，弹性散射截面可通过微分散射截面da，dn由 能量＆，探测能量损失窗口E，和探测角口．探测能 下式求出， 量损失窗口E。和被探测背散射电子能量E有如下 J0 关系：E。=(E。一E)，E。，改变探测能量窗口值可以 式中dn是空间立体角，A是靶材料的原子重量， 改变探测到的背散射电子能量阈值．探测角n为探 Ⅳ^是阿伏加德罗常数，P是靶物质的密度，^是入 测系统相对入射电子束在样品表面的入射点的张 射电子在一定能量下的平均自由程，两次散射之间 角．希望通过调节这3个参数获得电镜理想的工作 的自由程s由一个分布在0和l之间的随机数尺。 性能，如好的成份衬度、信噪比、空间分辨率和低的 决定 形貌衬度．但实际情况是，这些性能难以同时全部得 S=一^ln冠．． 到满足，如高的空间分辨率和好的信噪比对入射电 I．2散射角的确定 子束流提出了不同的要求．为了从理论上指导实验 当入射电子经过路径s后遇到另一散射源，散 调试，有必要对该电镜的工作原理进行模拟．用蒙特 射方向相对原前进方向的方位角由散射角口’和妒’ 卡罗方法模拟背散射电子，国内外已有文献发 决定，电子散射角日’由另一随机数R：通过下式抽 表”131，但一般是