触摸屏制造工艺实战与难点编写：李星[一]ITOFILM的调质处理近年来.PDF

触摸屏制造工艺实战与难点 编写：李星 [一]ITO FILM 的调质处理 近年来，由于薄膜应用材料的发展，与 ITO 玻璃一样，ITO FILM 也越来越多的应用到了电子信息材料上，比如说应用在 LCD 、OLED 显示器基板上，触摸屏上探测电极上，显示器模组的电磁屏蔽上等等。如何在这些产品的生产加工过程中，合理使用 ITO FILM 材 料，也慢慢为电子制造行业所重视。 我们知道，ITO FILM 与 ITO 玻璃在产品制造生产过程中的区别在于，ITO FILM 在正式上生产线使用之前，要预先进行一道调质处 理工序，也就是很多触摸屏厂家俗称的“ITO FILM 老化”工序。为什么 ITO FILM 要预先进行一道这样的调质处理“ITO FILM 老 化”工序，而 ITO 玻璃就不用呢，这就要从它们所用的基材不同说起了。 一、为什么要进行调质处理： 目前最常用到的ITO FILM 的基材，是一层在上面进行过硬化层涂布处理过的PET 膜，它的材质是 polyethylene terephthalate ，中文 名叫聚对苯二甲酸乙二醇酯，简称 PET ，它在较宽的温度范围内具有优良的物理机械性能，长期使用温度可达 120℃，电绝缘性优 良，甚至在高温高频下，其电性能仍较好，抗蠕变性，耐疲劳性，耐摩擦性、尺寸稳定性都很好。它有个特点是耐电晕性较差，所 以可以在其表面进行金属镀膜二次加工，从而使得进行金属镀膜二次加工后的PET ，广泛应用于包装业、电子电器、医疗卫生、建 筑、汽车等领域。 PET 的热变形温度是(1 ．8MPa) 224℃，熔点 254 ℃，所以很易于加工成应用薄膜材料。 为了更好的应用在电子产品上，PET 膜上一般都要再涂布一层聚丙烯酸酯类的硬化层，也就是俗称的压加力涂层或加硬层，让 PET 膜表面的硬度能达到 2H 以上，让它更耐磨擦，更难被划伤。这种压加力的特性是热变型温度≥78℃，热软化温度≥105℃。 生产中使用的 ITO 玻璃是一种浮法玻璃，是以硅酸盐为材料，经 1300℃高温炉溶融成液体，流经锡水表面成型的平板玻璃。 这里说的 ITO 是一种 N 型氧化物半导体-氧化铟锡，ITO 薄膜即铟锡氧化物半导体透明导电膜，通常有两个性能指标:电阻率和透光 率， 在氧化物导电膜中，以掺 Sn 的 In2O3(ITO)膜的透过率最高和导电性能最好，而且容易在酸液中蚀刻出细微的图形。其中透过率以 达 90% 以上，ITO 中其透过率和阻值分别由In2O3 与 Sn2O3 之比例来控制，通常 Sn2O3:In2O3=1:9。 ITO 玻璃和 ITO FILM 基材上所镀的 ITO 镀层，是用磁控溅射沉积上去的。其中镀膜的温度是影响 ITO 膜透光性和电阻率的最明显 因素，当镀膜温度在 100℃以下时，膜层中多数是一些低价的铟锡氧化物，透光性较低，阻值也很高。随着镀膜温度升高，薄膜的 结晶越趋完美使载流子迁移率有所提高，而光线透过率明显升高，阻值也相应降低，当温度达到 380℃附近时，光线透过率达到最 高。 对于 ITO 平板玻璃来说，完全可以用最好的温度条件来进行 ITO 镀膜，因为平板玻璃的熔化温度在千度以上，所以 380℃最优镀膜 条件对玻璃基板没什么影响。 可是另外一种以 PET 为原料基材中，不但其本身的热变形温度只有 224 ℃，并且其上面涂布的压加力层的热变形温度仅为 78℃。为 了不在镀 ITO 膜层时不破坏和影响 PET 膜基材的性能，镀膜温度一定要严格的控制的 80℃以下，这就造成了 ITO 膜层的结晶度不 够，光线透过率低，电阻阻值偏高并且不稳定。 PET 材料在提练合成过程中，一定会有一些杂质掺杂在里面，PET 合成的过程，是一个小分子物质在化学键的作用下链接形成大分 子的过程，这个过程中肯定有些未充分反应的小分子物质附在大分子链上。PET 膜在空气存放过程中，因 PET 膜层里面所含的微量 杂质，会吸收空气中的气体和水份，并不断水解其中部分没聚合完全的水分子物质。这些杂质、气体、水份，和未聚合完全的水分 子水解后生成的物质，会在高温中析出或重新聚合与结晶，让 PET FILM 产生不一致的形变或性能变化，造成 PET FILM 上的图形 尺寸变化。 二、调质处理的原理： PET 材料虽然拥有很好的尺寸稳定性，但在制成 PET 薄膜的过程中，合成的 PET 大分子物质经过挤塑和拉伸，原来融熔状态下自 由伸展的分子团被