2圆角化方向.DOCVIP

TEM电子枪加速极板圆角对周边电场的影响 孟庆浪1,3，董全林2,3，钱建强1,3 摘要：电子枪中，加速极板的性能决定了电子枪的发射性能，选择正确的加速极板可以在小范围内获得精确度高、束流稳定的电子束流。本文基于电子显微镜（TEM），对其电子枪中的加速极板圆角化进行了全方位分析研究，建立了圆角与轴上场强的关系式，并根据极板形状和圆角位置利用Matlab和Ansys等软件进行了仿真分析，确定出最佳圆角化尺寸。结果表明，利用一定范围内的圆角使得加速极板的性能得了一定的提高，为电子枪结构的设计提供了一定理论指导。 关键词：电子枪 加速极板 电场 圆角化 电子束 中图分类号：TB97 文献标识码： A The influence of the accelerating plate’s fillets on the surrounding electric field of the TEM electron gun MENG Qinglang(1,3), DONG Quanlin(2,3),QIAN Jianqiang(1,3), (1.School of Physics and Nuclear Energy Engineering, BeiHang University, Beijing 100191, China; 2. School of Instrument