薄膜物理第一章.pptVIP

要 点 气体分子运动论的基本概念 真空获得的手段 真空度的测量 在薄膜技术领域，人为地将真空环境粗略地划分为: 低真空 102 Pa 中真空 102 ?10-1 Pa 高真空 10-1 ?10-5 Pa 超高真空 10-5 Pa §1.1 气体分子运动论的基本概念 气体分子对单位面积表面的碰撞频率，称单位面积上气体分子的通量 Kn1 分子流状态 Kn110 粘滞流状态 110Kn1 过渡状态 1、流量Q 单位时间内气体流动的量叫流量。 在真空技术中，与水的情况不同，流量要用（压强 ×体（容）积/时间）表示。 单位：Pa·L/s 2、流导： 真空系统中，气体的通过能力称之为流导C, 表示气体流动的难易程度。定义为： 对不同流导C1、C2、C3组成的系统， 其合流导C为： 串联流导： 并联流导： （就象描述气体流动的欧姆定律） 1、定义 真空泵的抽速Sp与管路的流导C有着相同的物理量纲，且二者对维持系统的真空度起着同样重要的作用 §1.3 真空泵简介 §1.4 真空的测量 第一章 小结 薄膜材料在现代科技领域占有重要的地位，可作为大家今后作为科学家或工程师的职业方向 真空技术是现代薄膜材料技术的基础 不同的薄膜制备方法涉及到不同的真空环境—真空度 不同的真空度需要采用不同的真空获得方法与真空测量方法 基本概念复习 为什么在薄膜制备技术的讨论中，先要讨论真空环境与真空技术？ 熟悉真空度的物理单位及其相互换算。 根据气体流动状态所表现出的特性，我们是如何划分气体流动状态的？ 说明分子通量的物理意义？讨论分子通量是如何影响薄膜纯度和薄膜沉积速率的。 了解真空泵的主要性能指标。 了解主要的真空泵种类。 了解主要的真空测量方法。 思 考 题 1、使用真空泵系统对30升的真空系统抽真空到 10-6Torr。关闭真空系统3分钟后，系统压力升至10-5Torr。 （1）求系统的压力升高率（Torr·L/s) （2）求使用抽速为Sp=40L/s的真空泵时，系统可以达到的极限真空度。 2.、为电子显微镜和真空退火炉（压力均为10-5 Torr) 选配真空泵和真空计。设D=50cm, 计算克努森准数 和气体分子的运动状态。 思 考 题 3. 设薄膜制备设备的气体输入速率为 75Torr·L/min，若需要保持系统的 压力为1Torr, 求需要的真空泵抽气速率Sp。 4. 证明：通孔A在分子流状态时的流导。 5. 求证公式（1-24），即不同温度点处测量 出的气体压力不尽相同。 所以当测量点温度Tm较高时，检测出的压力pm将比实际偏高，相反……，显然Tc与Tm之间的差别越大，造成的测量误差将越大。 如：Tc=600°C；Tm= 25°C时，测量出的压力将只有真空室实际压力的58%。 当气体流动状态接近或处于粘滞流状态时。温度差别导致的测量误差将趋于零。因为任何压力差会由于气体的迅速扩散和流动而趋于消失 一、热偶真空规和皮拉尼真空规 都是以气体的热导率随压力的变化为基础而设计的。 1、热偶真空规 一根置于容器内的加热丝，设其总发热量为Q，Q会消耗于热辐射（QR）、加热丝支架的热传导（QL）以及由于气体分子与热丝碰撞而带走的热量（Qg）. 在到达平衡后，电流（恒定）提供的加热功率与损失的功率相等，即 其中QR和QL在灯丝温度T一定时为恒定值，而Qg与真空容器中的气体压力p有关，所以热丝的温度将随真空度的不同而呈现有规律的变化。 在0.1~100pa的压力范围内，气体的热导率将随气体压力的增加而上升，因而热丝的温度会随气体压力的上升而降低。所以用热电偶测量出热丝的温度，也就测量出了环境的压力。 不能用于较低或较高真空度的测量。因为在p100pa时，气体的热导率将不再随压强变化而显著变化，所以此时测量的灵敏度迅速下降；在p0.1pa后，气体分子热传导带走的热量，在总加热功率中所占的比例过小，测量灵敏度也迅速下降。 特点：仪器结构简单、使用方便 缺点：测量区域内，指示值呈非线性、测量结果与气体种类有关、零点飘移严重。 2、皮拉尼真空规 （热阻式真空规） 利用测量热丝电阻值随温度的变化来测定气压。 二、电离真空规 阴极发射的电子在飞向阳极的过程中碰撞气体分子，并使后者电离，由离子收集