机器性能与精度的全面检测与校准.pdfVIP

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雷 尼 绍 机器性能和精度的全面检测和校准 ML10 Gold 激光干涉仪 可溯源的、机床和运动机械 分析计量工具中的精品 QC10 球杆仪测量系统 自动检测机器定位性能和 诊断机器误差 MCG 三测机空间精度检测规 简单、快捷地对三测机空间性能 和定位精度作检测 世界领先的激光测量系统 在精度和稳定性日趋重要的今天,得到全球数以千计用户认可的 ML10 Gold 激光干涉仪系统是您的理 想选择。 • 精度的可溯源性 • 性能指标 Renishaw 激光干涉仪的所有测量功能, Renishaw 给出的精度指标是严格按照 包括直线度和角度等测量,都是基于激 ISO 国际标准中关于测量不确定度的计 光干涉原理,具有对国际标准激光波长 算方法,综合了激光稳定性、传感器输 的溯源性。而那些利用电子标靶进行俯 出等数值和所有影响最终测量的关键参 仰、扭摆和直线度误差测量系统,会影 数的基础上给出的。整个系统精度的置 响测量精度和稳定性。 信度达 ( ),并且已经包括了实 95% k=2 • 分离的干涉镜 际使用中由于漂移带来的误差影响。 X-Y 平台校准 Renishaw 的干涉镜与激光头分离开来, • 实际使用性能 (Danaher Precision Systems) 与那些将干涉镜安装在激光头上 ( 内 世界范围内数千台 ML10 激光干涉仪的 部 ) 的仪器相比,可有效避免热漂移。 多年现场使用事实表明,在各种不同工 • 环境补偿 作条件下,Renishaw 长期以来一直提 供着满足甚至高于其性能指标的激光干 激光测量中最大的不确定因素来自于 涉仪产品,这种性能表现已不断经过第 环境条件 ( 气压、气温和湿度 ) 的变 三方(包括国内外的国家级计量院,如 化。在典型条件下,这些变化可以给 中国计量院、德国 PTB、美国 NIST、 测量带来多达 ± 20 ppm 的不确定度。 频率稳定性出厂测试 Renishaw 的 EC10 环境补偿单元中使 英国 N

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