第6章 压电式传感器.pptVIP

2010年10月13日（星期三） 14：00-15：40 南区 9-1101 多媒体教室 教学要求及重点、难点 一. 教学要求 1. 了解压电式传感器基本原理， 2. 熟悉压电式传感器的测量转换电路 3. 了解压电式传感器的应用 二. 重点、难点 压电式传感器的测量转换电路 概 述 压电式传感器是利用某些电介质材料(如石英晶体)具有压电效应现象制成的。有些电介质材料在一定方向上受到外力(压力或拉力)作用而变形时，在其表面上产生电荷从而可以实现对非电量的检测。压电式传感器具有体积小、重量轻、频带宽等特点，适用于对各种动态力、机械冲击与振动的测量，广泛应用在力学、声学、医学、宇航等方面。 6.1 压电式传感器的基本原理 压电效应: 正向压电效应和逆向压电效应。 某些电介质，当沿着一定方向对其施加外力而使它变 形时，内部就产生极化现象，相应地会在它的两个表面 上产生符号相反的电荷，当外力去掉后，电荷消失，当 外力反向时，电荷极性也反向。这种现象称压电效应。 这种将机械能转换为电能的现象，也称为正压电效应。 压电元件的变形 2. 压电材料 具有压电效应的材料称为压电材料，压电材料能 实现机-电能量的相互转换，具有一定的可逆性，如图 4.71 所示。压电材料可以分为三类：石英晶体、压电陶瓷和高分子压电材料。 目前能够广泛使用的压电材料只有：石英晶体和人工制 造的压电陶瓷（钛酸钡、锆钛酸铅）等材料，这些材料 都具有良好的压电效应。 3. 压电材料的主要特性指标 压电材料是压电式传感器的敏感材料， 主要特性参数有： （1）压电系数dmn； （2）机械性能（刚度H）； （3）电性能（介电常数ε和电阻率）； （4）居里点等。 ① 压电系数dmn：它是衡量材料压电效应强弱 的参数，一般应具有较大的压电系数。 m表示产生电荷面的轴向，n表示施加作用力的 轴向。 ②机械性能（刚度H）：作为受力元件，通常 希望其具有较高的机械强度和较大的刚度，以 获得较宽的线性范围和较大的固有频率。 ③电性能：良好的压电材料应该具有大的介电 常数和较高的电阻率，以减小电荷的泄漏，从 而获得良好的低频特性。 ④居里点温度：最大安全温度。它是指压电材 料开始丧失压电特性的温度。 ⑤机械耦合系数：是指在压电效应中，转换输 出能量(如电能)与输入能量(如机械能)之比的 平方根，这是衡量压电材料机-电能量转换效 率的一个重要参数。 ⑥时间稳定性：压电特性不应随时间蜕变。 二．石英晶体压电效应 若从晶体上沿y方向切下一块如图4.72(c)所示的晶片 当沿电轴X方向施加作用力Fx时，则在与电轴x垂直 的平面上将产生电荷，其大小为: 根据石英晶体的对称性，有d12=-d11；a、b—晶体切片 的长度和厚度，如图4.72(c)所示。电荷qx和qy的符号 由受压力还是受拉力决定。如图6.3所示。 现象：  压电陶瓷是人工制造的多晶体压电材料。材料内部的晶粒有许多自发极化的电畴（电偶极矩），它有一定的极化方向，从而存在电场。在无外电场作用时，电畴在晶体中是杂乱分布的，各电畴的极化效应相互抵消，压电陶瓷内极化强度为零。因此原始的压电陶瓷呈中性，不具有压电性质，如图4.74(a)所示。加直流电场后，使极性转到接近电场的方向，当电场去掉后，电畴的极化方向基本保持不变。如图4.74(b) 产生的电荷面垂直于Z轴，电荷量的大小与外力 成如下的正比关系： q=d33 F 式中： d33—压电陶瓷的压电系数。 F—作用力。 四. 压电元件的连接方式 为了提高压电传感器的输出灵敏度，在实际应用中 常采用将两片(或两片以上)同型号的压电元件粘结在 一起。由于压电材料的电荷是有极性的，因此接法也 有两种。如图4.76所示。 并联接法输出电荷大，本身电容大，时间常数大，适 宜用在测量缓慢变信号并且以电荷作为输出量的场合。 6.2 压电式传感器的测量转换电路 主要有两种形式：电压等效电路和电荷等效电路。 形式不同，作用等效。 二．压电式传感器测量电路 由于压电传感器输出信号很小，本身的内阻抗很大， 输出阻抗很高，因此给它的后续测量电路提出了很高的 要求。为了解决这一矛盾，通常需要将传感器的输出接 入一个高输入阻抗的前置放大器。 压电传感器的输出可以是电压信号，也可以是电荷 信号，因此前置放大器也有两种形式：电压放大器和 电荷放大器。 通常采用性能稳定的电荷放大器。图4.79所示的 是压电传感器与电荷放大器组成的检测电路的等效电 路。