4 MEMS技术在智能燃气计量中的应用及发展趋势-刘建钢.pdfVIP

4 MEMS技术在智能燃气计量中的应用及发展趋势-刘建钢.pdf

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分享目录 1 国内外MEMS流量检测芯片介绍 2 燃气检测领域对MEMS流量技术要求 3 未来发展趋势 2015/11/16 MEMS能做什么 2015/11/16 MEMS是什么 MEMS:Micro-Electro-Mechanical System 微机电系统、微电子机械系统、微系统 MEMS产品如何做 光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅 微加工制作的高科技电子机械器件 2015/11/16 MEMS热式流量检测原理 2015/11/16 国外MEMS流量检测芯片 霍尼韦尔 2015/11/16 国外MEMS流量检测芯片 日本山武 IST 2015/11/16 国外MEMS流量检测芯片 MEAS 美国精量电子 盛世瑞恩 2015/11/16 国内MEMS流量检测芯片 美泰 2015/11/16 矽翔微机电 国内MEMS流量检测芯片 Winsen 炜盛电子 美芯 2015/11/16 MEMS燃气表 代傲 欧姆龙 2015/11/16 燃气检测领域对MEMS流量技术要求 一、耐脏污 ①芯片 ②封装 ③流道 ④算法 2015/11/16 燃气检测领域对MEMS流量技术要求 二、功耗要求 ①、MEMS隔热及热感应灵敏度提高 ②、信号调理电路性能提高 ③、脉冲加热 2015/11/16 燃气检测领域对MEMS流量技术要求 三、芯片及整体方案价格要求 皮膜燃气表出厂价在100元以下,要求MEMS燃气表成本不能高于50元 ①、缩小芯片工艺尺寸 ②、批量规模优势 2015/11/16 未来发展趋势 1、智能化 ①大流量、小流量报警关阀, ②加入气体组分检测 2、集成化 ①、流量检测和信号处理电路集成单芯片 ②、信号处理、显示、驱动集成 3、小体积、低成本 2015/11/16 Winsen 传感王 流量传感 16

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