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1 国内外MEMS流量检测芯片介绍
2 燃气检测领域对MEMS流量技术要求
3 未来发展趋势
2015/11/16
MEMS能做什么
2015/11/16
MEMS是什么
MEMS:Micro-Electro-Mechanical System
微机电系统、微电子机械系统、微系统
MEMS产品如何做
光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅
微加工制作的高科技电子机械器件
2015/11/16
MEMS热式流量检测原理
2015/11/16
国外MEMS流量检测芯片
霍尼韦尔
2015/11/16
国外MEMS流量检测芯片
日本山武 IST
2015/11/16
国外MEMS流量检测芯片
MEAS 美国精量电子
盛世瑞恩
2015/11/16
国内MEMS流量检测芯片
美泰
2015/11/16 矽翔微机电
国内MEMS流量检测芯片
Winsen
炜盛电子
美芯
2015/11/16
MEMS燃气表
代傲
欧姆龙
2015/11/16
燃气检测领域对MEMS流量技术要求
一、耐脏污
①芯片
②封装
③流道
④算法
2015/11/16
燃气检测领域对MEMS流量技术要求
二、功耗要求
①、MEMS隔热及热感应灵敏度提高
②、信号调理电路性能提高
③、脉冲加热
2015/11/16
燃气检测领域对MEMS流量技术要求
三、芯片及整体方案价格要求
皮膜燃气表出厂价在100元以下,要求MEMS燃气表成本不能高于50元
①、缩小芯片工艺尺寸
②、批量规模优势
2015/11/16
未来发展趋势
1、智能化
①大流量、小流量报警关阀,
②加入气体组分检测
2、集成化
①、流量检测和信号处理电路集成单芯片
②、信号处理、显示、驱动集成
3、小体积、低成本
2015/11/16
Winsen 传感王 流量传感
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