半导体晶圆制造系统的时变多目标生产调度优化.pdfVIP

第42卷第2期 上海交通大学学报 v。1．42N。．2 2008年2月 SHANGHA1 UNlVERSITY Feb．2008 JOURNAI。OF JIAOTONG 文章编号：1006—2467(2008)02一0209一05 半导体晶圆制造系统的时变多目标生产调度优化 李衍飞， 江志斌 (上海交通大学工业工程与管理系，上海200240) 摘 要：从当前半导体晶圆制造企业实际生产调度的角度出发，根据模糊控制理论和模拟退火算 法，提出了解决半导体晶圆制造系统(SWFS)时变多目标生产调度复杂问题的方法．大量的仿真实 验数据证明，该方法可以在求解速度和优化质量间取得平衡，并实现了全局优化效果，为实现 SWFS的科学生产控制与调度提供了有效策略和方法． 关键词：半导体晶圆制造系统；时变多目标；生产计划与调度；模糊控制；模拟退火法 391．9 中图分类号：TP 文献标识码：A