基于半桥型电感测头的微位移检测技术研究槡槡-华东师范大学学报.PDFVIP

第３７卷 第２期 世界科技研究与发展 Ｖｏｌ．３７ Ｎｏ．２ 　 　 ２０１５年４月 １１５－１１７页 ＷＯＲＬＤＳＣＩＴＥＣＨＲ＆Ｄ Ａｐｒ．２０１５ ｐｐ．１１５－１１７ 基于半桥型电感测头的微位移检测技术研究 １，２ ２ ，２ ２ ２ 王晓飞 　 苏智琨 　裘祖荣 　李杏华 　江尚良 （１．江苏省计量科学研究院，南京２１０００７； ２．天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室，天津３０００７２） 摘　要：针对半桥型电感测头，设计了幅值稳定的正弦波激励信号产生单元和相应的输出信号处理电路；分析了影 响测量精度的主要原因，设计了基于反馈原理的激励信号稳幅模块；通过标定实验，采用分段线性插值法进行数据 处理，该电感测头在±１ｍｍ的测量范围内，最大误差为１２ ｍ，线性度为００６％，满足测量系统的要求。 μ 关键词：电感测头；微位移测量；正弦波产生；正弦波稳幅；非线性校正；分段线性插值 中图分类号：ＴＨ７２１　　　文献标识码：Ａ　　　ｄｏｉ：１０．１６５０７／ｊ．ｉｓｓｎ．１００６－６０５５．２０１５．０２．００１ ＲｅｓｅａｒｃｈｅｓｏｎＴｉｎｙＤｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔＭｅａｓｕｒｅｍｅｎｔＢａｓｅｄｏｎ  ＩｎｄｕｃｔａｎｃｅＰｒｏｂｅｗｉｔｈＨａｌｆＢｒｉｄｇｅ １，２ ２ ，２ ２ ２ ＷＡＮＧＸｉａｏｆｅｉ　ＳＵＺｈｉｋｕｎ　ＱＩＵＺｕｒｏｎｇ 　ＬＩＸｉｎｇｈｕａ　ＪＩＡＮＧＳｈａｎｇｌｉａｎｇ （１．ＪｉａｎｇｓｕＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＭｅｔｒｏｌｏｇｙ，Ｎａｎｊｉｎｇ２１０００７；２．ＳｔａｔｅＫｅｙＬａｂｏｒａｔｏｒｙｏｆＰｒｅｃｉｓｉｏｎＭｅａｓｕｒｉｎｇ ＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙａｎｄＩｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ，ＴｉａｎｊｉｎＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｔｉａｎｊｉｎ３０００７２） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｆｏｒｔｈｅａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｏｆｏｎｅｋｉｎｄｏｆｉｎｄｕｃｔａｎｃｅｐｒｏｂｅｗｉｔｈａｈａｌｆｂｒｉｄｇｅ，ａｓｐｅｃｉａｌｃｉｒｃｕｉｔｗａｓｄｅｓｉｇｎｅｄ，ｗｈｉｃｈｃｏｕｌｄ ｇｅｎｅｒａｔｅａｓｉｎｅｗａｖｅｓｔｉｍｕｌａｔｉｎｇｓｉｇｎａｌｗｉｔｈｓｔａｂｌｅａｍｐｌｉｔｕｄｅａｎｄｄｅａｌｗｉｔｈｔｈｅｃｏｒｒｅｓｐｏｎｄｉｎｇｏｕｔｐｕｔｓｉｇｎａｌ．Ｔｈｅｍａｉｎｆａｃｔｏｒｓ ｔｏａｆｆｅｃｔｔｈｅｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔａｃｃｕｒａｃｙｗｅｒｅａｎａｌｙｚｅｄ，ａｎｄａｍｏｄｕｌｅｂａｓｅｄｏｎｆｅｅｄｂａｃｋｐｒｉｎｃｉｐｌｅｗａｓｄｅｓｉｇｎｅｄ．Ａｆｔｅｒｃａｌｉｂｒａｔｉｏｎ ａｎｄｄａｔａｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇｂａｓｅｄｏｎｔｈｅａｌｇｏｒｉｔｈｍｏｆｐｉｅｃｅｗｉｓｅｌｉｎｅａｒｉｎｔｅｒｐｏｌａｔｉｏｎ，ｔｈｅｍａｘｉｍｕｍｅｒｒｏｒｗａｓ１２ ｍｉｎｔｈｅｍｅａｓｕｒ μ ｉｎｇｒａｎｇｅｏｆ±１ｍｍ，ａｎｄｔｈｅｌｉｎｅａｒｉｔｙｗａｓ００６％，ｗｈｉｃｈｃｏｕｌｄｍｅｅｔｔｈｅｒｅｑｕｉｒｅｍｅｎｔｏｆｔｈｅｓｙｓｔｅｍ． Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：ｉｎｄｕｃｔａｎｃｅｐｒｏｂｅ；ｍｉｃｒｏｄｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔ；ｓｉｎｅｗａｖｅｓｇｅｎｅｒ