并行共焦测量中的并行光源技术综述-中国光学.PDFVIP

第远卷摇 第缘期 摇 摇 摇 摇 摇 摇 中国光学摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 灾燥造援远摇 晕燥援缘 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 圆园员猿年员园月摇 悦澡蚤灶藻泽藻 韵责贼蚤糟泽摇 摇 韵糟贼援圆园员猿 文章编号摇 员远苑源鄄圆怨员缘渊圆园员猿冤园缘鄄园远缘圆鄄园愿 并行共焦测量中的并行光源技术综述 员鄢 圆 员 员 员 余摇 卿 袁余晓芬 袁崔长彩 袁叶瑞芳 袁范摇 伟 渊员援华侨大学机电及自动化学院袁福建 厦门猿远员园圆员曰 圆援合肥工业大学仪器科学与光电工程学院袁安徽 合肥圆猿园园园怨冤 摘要院并行共焦测量技术的核心是将单点共焦测量变成多点同时扫描测量袁从而使共焦测量速度显著提高遥 本文介绍了 共焦测量技术原理袁综述了用于并行共焦的并行光源技术袁分析了这些方法的优点和不足遥 结合作者近年来的研究成 果袁重点阐述了基于微透镜阵列和数字微镜器件渊阅酝阅冤产生并行光源的新方法遥 分析和研究了阅酝阅 的空间光调制机 理袁最终建立了一种单光源双光路并行像散共焦测量系统遥 关摇 键摇 词院共焦显微镜曰并行光源曰并行共焦测量曰三维形貌术曰微透镜阵列曰数字微镜器件 中图分类号院栽匀苑源圆援怨摇 摇 文献标识码院粤摇 摇 凿燥蚤院员园援猿苑愿愿辕 悦韵援圆园员猿园远园缘援园远缘圆 杂怎则增藻赠 燥枣 责葬则葬造造藻造 造蚤早澡贼 泽燥怎则糟藻 贼藻糟澡灶燥造燥早赠 蚤灶 责葬则葬造造藻造 糟燥灶枣燥糟葬造 皂藻葬泽怎则藻皂藻灶贼 员鄢 圆 员 员 员 再哉 匝蚤灶早 袁再哉 载蚤葬燥鄄枣藻灶 袁悦哉陨 悦澡葬灶早鄄糟葬蚤 袁再耘 砸怎蚤鄄枣葬灶早 袁云粤晕 宰藻蚤 渊员援悦燥造造藻早藻 燥枣 酝藻糟澡葬灶蚤糟葬造 耘灶早蚤灶藻藻则蚤灶早 葬灶凿粤怎贼燥皂葬贼蚤燥灶袁匀怎葬择蚤葬燥 哉灶蚤增藻则泽蚤贼赠袁载蚤葬皂藻灶 猿远员园圆员袁悦澡蚤灶葬曰 圆援杂糟澡燥燥造 燥枣 陨灶泽贼则怎皂藻灶贼 杂糟蚤藻灶糟藻 葬灶凿 韵责贼燥鄄藻造藻糟贼则燥灶蚤糟泽 耘灶早蚤灶藻藻则蚤灶早袁 匀藻枣藻蚤 哉灶蚤增藻则泽蚤贼赠 燥枣 栽藻糟澡灶燥造燥早赠袁匀藻枣藻蚤圆猿园园园怨袁悦澡蚤灶葬冤 悦燥则则藻泽责燥灶凿蚤灶早 葬怎贼澡燥则袁耘鄄皂葬蚤造院躁燥则泽燥灶援赠岳员远猿援糟燥皂 粤遭泽贼则葬糟贼院孕葬则葬造造藻造 糟燥灶枣燥糟葬造 皂藻葬泽怎则藻皂藻灶贼 贼藻糟澡灶燥造燥早赠 糟澡葬灶早藻泽 贼则葬凿蚤贼蚤燥灶葬造 泽蚤皂责造藻 泽糟葬灶灶蚤灶早 蚤灶贼燥 葬 皂怎造贼蚤鄄泽责燥贼 泽糟葬灶灶蚤灶早袁葬灶凿 蚤贼憎蚤造造 蚤皂责则燥增藻贼澡藻 藻枣枣蚤糟蚤藻灶糟赠 燥枣 皂藻葬泽怎则藻皂藻灶贼 泽蚤早灶蚤枣蚤糟葬灶贼造赠援 陨灶贼澡蚤泽责葬责藻则袁贼澡藻憎燥则噪蚤灶早责则蚤灶糟蚤责造藻 燥枣 糟燥灶枣燥糟葬造 皂藻葬泽怎则藻皂藻灶贼 贼藻糟澡灶燥造燥早赠 蚤泽 蚤灶贼则燥凿怎糟藻凿 葬灶凿 泽燥皂藻 皂藻贼澡燥凿泽 贼燥 责则燥凿怎糟藻 葬 责葬则葬造造藻造 造蚤早澡贼 泽燥怎则糟藻 蚤灶 贼澡藻 责葬则葬造造藻造 糟燥灶枣燥糟葬造 皂藻葬泽怎则藻皂藻灶贼 葬则藻 泽怎则增藻赠藻凿援 栽澡藻灶袁 蚤贼 葬灶葬造赠扎藻泽 贼澡藻 葬凿增葬灶贼葬早藻泽 葬灶凿 凿蚤泽葬凿增葬灶贼葬早藻泽 燥枣 贼澡藻泽藻 皂藻贼澡燥凿泽援 粤贼造葬泽贼袁蚤贼责则藻泽藻灶贼泽贼澡藻造葬贼藻泽贼则藻泽藻葬则糟澡