微型高分辨率光纤光谱仪在等离子体领域的应用微型高-仪器信息网.PDFVIP

微型高分辨率光纤光谱仪在等离子体领域的应用微型高分辨率光纤光谱仪在等离子体领域的应用 微型高分辨率光纤光谱仪在等离子体领域的应用微型高分辨率光纤光谱仪在等离子体领域的应用 张志伟 侯统熙 （北京爱万提斯科技有限公司 01084574045 ） Email: info@ 摘摘 要要 等离子体是继气体、液体、固体后的第四种物质的聚集态。等离子体物理学是一门蓬勃发展的新兴科学，其应 摘摘 要要 用领域包括受控热核聚变、空间科学、环境科学、微电子与信息产业、材料合成与处理、国防和高技术应用诸方面。目 前，测量等离子体特征谱线最简单的方法就是使用荷兰Avantes公司的微小型、高分辨率、多通道光纤光谱仪。 1.引引 言言 引引 言言 随着温度的升高，一般物质依次表现为固体、液体和 气体，它们统称物质的三态。当气体温度进一步升高时， 其中许多，甚至全部分子或原子将由于激烈的相互碰撞而 离解为电子和正离子。这时物质将进入一种新的状态，即 主要由电子和正离子 （或是带正电的核）组成的状态。这 种状态的物质叫等离子体，它可以称为物质的第四态。 图图1 光学平台光学平台 图图 光学平台光学平台 目前，直接测量等离子体的仪器分为两大类：一大类 是测量等离子体的密度和温度，方法又分两种：一种是根 据落到传感器上的带电粒子产生的电流来推算，如法拉第 筒、减速势分析器和离子捕集器，另一种是探针，通过在 探针上加不同电压引起的电源变化推算；另一大类是测量 等离子体的特征谱线（光谱法），使用光纤探测等离子体信 号，通过光谱仪进行数据采集和分析，如荷兰Avantes 公 司的微小型、高分辨率、多通道光纤光谱仪。下面主要介 图图2 AvaSpec-2048FT 快触发型快触发型光谱仪光谱仪 图图 快触发型快触发型光谱仪光谱仪 绍光谱法测量等离子体。 2.2 功能及特点功能及特点 功能及特点功能及特点 2.实验部分实验部分 实验部分实验部分 2.2.1 外触发功能外触发功能 外触发功能外触发功能 2.1 仪器原理仪器原理 AvaSpec2048FT 快触发型光谱仪能够在接受外触 仪器原理仪器原理 发信号之后仅延迟1.3 s 就开始采样；该光谱仪还可以发 荷兰Avantes 公司的AvaSpec2048FT 快触发型光谱 出一个TTL 信号来触发脉冲激光器，而且在AvaSoft 软件 仪，采用对称式光路设计，入射焦距和色散焦距都是