微型光扫描器研究.PDFVIP

第26卷第 1期 红 外 与 毫 米 波 学 报 Vo1．26，No．1 2007年 2月 J．InfraredMillim．Waves February，2007 文章编号：1001—9014(2007)01—0026—05 微型光扫描器研究 黄 鹰一，向思桦 ，陈四海一，赖建军 ，易新建， (1．华中科技大学光电子科学与工程学院，湖北 武汉 430074；2．武汉光电国家实验室，湖北 武汉 430074； 3．图像识别和人工智能教育部重点实验室，湖北 武汉 430074) 摘要 ：设计 了由正负微透镜阵列和压电陶瓷驱动器组成的微型光扫描器，它工作于中、短波红外光及可见光等波 段，微透镜阵列规模为256×256元、单元直径为50gra，扫描视场角约为6．6。，扫描频率可达200Hz，体积小到几个 立方厘米．实验测试表明微扫描器的设计参数与实验测量结果基本相符． 关 键 词：微透镜阵列；压电驱动器；微光机电系统；微型光扫描器 中图分类号；TN256。TN305 文献标识码：A STUDY oN M ICRooPTICAL SCANNER HUANG Ying一， XIANG Si—Hua ， CHEN Si—Hai一， LAIJian—Jun一， YIXin—Jiant (1．InstituteofOptoelectronicScienceandEngineering。HuazhongUniversityof SciencenadTechnology(HUST)，Wuhna 430074，China； 2．NationalOptoelectronicLaboratory，Wuhan 430074，China； 3．EducationMinistryKeyLaboratoryforImagingRecognitionnadIntellectualControl，Wuhna 430074，China) Abstract：Themlcrooptical scnanerconsistedofapositivemicrolensarraynadanegativemicrolensarrayandaPZT actua． torwasdesinged．whichworksinmiddlenadshort-wavelengthinfraredlightnadvisiblelight．Th esemicrolensarraysare m 256x256elementsnadeachelementhasadiameterof501~m．thescnaningna sleisabout6．6degree． escnaning frequencyiS200Hz．nadthevolumeiSafew cubiccentimeters．Th eexperimentmeasurementshowstllatthedesignedpa— rameters ofhtemicrooptical scna nerareconsistentwitllhteresultsofexperimentalmeasurement． Keywords：microlensarrays；PZT actuator；MOEMS；microoptical scna ner 本文扼要地阐述了正负微透镜阵列的制造工 引言 艺，报导了由正负微透镜阵列对和压电微驱动器组 微透镜阵列有许多应用，例如光束整型、光互连 成的微型光扫描器结构，讨论了设计原理和参数，最 和光成像等．由正负微透镜阵列和微驱动器组成的 后给出了测量方法和测量结果．其设计参数的理论 微型光扫描器在光成像探测、激光雷达、卫