微分式内层缺陷检测技术-AOIEA自动光学检测设备联盟-工研院.PDFVIP

微分式內層缺陷檢測技術 葉佳良 楊富程 嚴沛文 蔡偉雄 工研院量測中心 工研院量測中心 工研院量測中心 工研院量測中心 ChiaLiangYeh@itri.org.t FuShiangYang@itri.org. PWYEN@itri.org.tw GARY@itri.org.tw w tw 摘要 可摺疊式顯示器其主要關鍵為顯示器結構能耐摺疊避免脫層的問題，此功效將從材料與結構設計上著 手，但當測試失效時需要診斷脫層的位置，由此做為改善設計的依據。我們開發以光學式的量測方法， 以雷射共焦技術為主體，並使用訊號差分與外差的方式提升訊雜比與動態範圍，解決此技術因背景光 與訊雜比差及動態範圍不足的限制，達成量測多層薄膜的結構的功效，解決薄膜脫層量測設備的空缺 的問題。 關鍵字：可摺疊式顯示器 、共焦 、脫層 、差分 壹 、 前言 根據國外市調機構 HIS Markit 研究報告指出，由於有機發光二極管（OLED ）顯示技術的崛起，主導 著手機顯示市場超過 15 年 LCD 技術 ，預計在未來五年內發生變化。2020 年在智能手機上 OLED 的 市占率將超過 LCDs 。 如圖 1 所示，在顯示器長期需求預測追蹤報導中指出，2020 年使用低溫多晶矽（LTPS ）的 AMOLED 顯示器背板預計將佔所有的智能手機顯示器出貨量的 36％ ，超過的非晶矽（a-Si ）、薄膜電晶體（TFT ） LCD 和 LTPS TFT LCD 顯示器 。 圖 1 ：智慧型手機顯示器市占率預估 相較於 LCD 顯示器 ，OLED 顯示器不僅更薄輕，且更好的色彩表現與可摺疊的外形，使其可搭配創新 的設計 ，這些關鍵性的優點掩蓋了其製程難度較高的不足，製程上由於複雜的材料與化學反應，良率 管理也困難許多。而可摺疊式顯示其主要關鍵為顯示器結構能耐摺疊避免脫層的問題，此功效將從材 1 料與結構設計上著手，但當測試失效時需要診斷脫層的位置，由此做為改善設計的依據。我們開發以 光學式的量測方法，以雷射共焦技術為主體 ，並使用訊號差分的方式提升訊雜比與動態範圍 ，解決此 技術因背景光與訊雜比差及動態範圍不足的限制，達成量測多層薄膜的結構的功效，解決薄膜脫層量 測設備的空缺的問題。 貳 、 研究方法 因為其非破壞性量測的特性，共焦系統被廣泛的用在材料檢測、精密加工、生醫科技與三維斷層技術 上，在三維斷層檢測時，為了得到更高的解析度與重現性來提升軸上解析能力 ，訊雜比至關重要的決 定因素 ，訊雜比是訊號和雜訊的比例 ，其中雜訊包含電訊號與取樣誤差 ，本文藉由差分的方式來提高 訊雜比 ，並針對 Laser 光源品質不良引入 Spatial Filters 濾除空間雜訊，在訊號穩定度方面引入 Optical isolator ，設計上由於待測物反射之共焦雷射光束直徑較小，若採用大 NA 之非球面鏡將與共 焦鏡組匹配不良，本文選定焦距短的共焦鏡組，改善光點品質。實驗架構如圖 2 所示。 圖 2 ：共焦