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新型离轴反射变焦距光学系统的多视场检测方法周继德常军牛-物理学报
新型离轴反射变焦距光学系统的多视场检测方法
周继德 常军 牛亚军 谢桂娟 王希
Novelmultiplefieldofviewdetectionmethodfortheoff-axisreflection zoomoptical system
ZhouJi-De ChangJun NiuYa-Jun XieGui-Juan WangXi
引用信息Citation: ActaPhysicaSinica, ,084208(2016) DOI: 10.7498/aps.65.084208
在线阅读Viewonline: /10.7498/aps.65.084208
当期内容Viewtableofcontents: /CN/Y2016/V65/I8
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物理学报 Acta Phys. Sin. Vol. 65, No. 8 (2016) 084208
新型离轴反射变焦距光学系统的多视场检测方法
周继德 常军 牛亚军 谢桂娟 王希
(北京理工大学光电学院, 北京 100081)
( 2015 年9 月27 日收到; 2016 年1 月1 日收到修改稿)
基于对离轴反射变焦距光学系统进行计算机辅助装调研究, 需要检测离轴反射变焦距系统各个视场的波
像差, 除零度视场外, 获得包括其他视场的波像差有助于提高计算机辅助装调的准确性, 但是目前已有的波像
差检测方法往往只能获得系统零度视场的波像差. 本文针对这个难题提出了一种检测离轴反射变焦距光学系
统各个视场波像差的方法, 并应用于离轴三反变焦距光学系统的各视场波像差仿真检测. 该方法在传统自准
直干涉法的基础上进行改进, 关键在于采用变形镜代替扫描的平面镜, 并采用夏克-哈特曼波前传感器代替干
涉仪, 配合精确标定的激光器光源阵列, 可以实现对离轴三反变焦距光学系统的多视场波像差同时检测. 由
◦ ◦ ◦ ◦ ◦ ◦ ◦ ◦ ◦ ◦ ◦ ◦
理论分析和仿真模拟得出, 该系统在视场(0 , 3 ), (0 , 4.2 ), (0 , 5.5 ), (0 , 7 ), (0 , 9.8 ), (0 , 14 ) 处经
过变形镜补偿后的剩余波像差的RMS 值分别为0.00039, 0.00075, 0.0024,
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