激光扫描共聚焦显微镜云纹测量技术及其新应用.PDFVIP

激光扫描共聚焦显微镜云纹测量技术及其新应用 1 1* 1 2 1 王庆华 谢惠民 潘兵 岸本哲 戴福隆 1. 清华大学工程力学系, 北京 100084 2. 日本国家材料科学研究所，筑波 305-0047 *Email: xiehm@mail.tsinghua.edu.cn Tel: +86-10 摘要：本文介绍了一种先进的高倍显微镜云纹测量技术——激光扫描共聚焦显微镜 （LSCM ）云纹法。在阐述LSCM 的工作原理及LSCM云纹的形成和测量原理后，讨论了 LSCM云纹法的特点，同时对LSCM云纹法的应用进行了探讨，重点介绍其除了常规用于测 量物体表面变形外的另一类新用途，即利用虚应变的概念表征物体表面周期性结构特征。 采用1200lines/mm 的标准光栅对此类用途进行了验证性实验，结果表明LSCM云纹法表征结 果准确且具有微纳米级的测量精度。将其用于识别日本纹白蝶翅膀表面结构，发现此蝴蝶 翅膀各鳞片上存在着一组栅距稍小于438nm左右的曲线栅，且各鳞片上的栅线特征各异， 为大范围内识别蝴蝶翅膀表面结构特征及进一步解释其在阳光下闪闪发亮提供了简便可靠 的依据，同时也为准确仿生提供了可能。 关键词：激光扫描共聚焦显微镜 云纹 周期结构 虚应变 蝴蝶 1.引言 近年来随着微纳米技术、生物工程技术的不断发展，对微机械系统 （MEMS ）或微器件力学特性的测量和表征越来越引起人们的关注，发展适 于微纳米尺度力学特性测量和表征的实验力学新技术显得愈加重要。云纹测 [1] 量法自1948年 问世以来便得以迅速发展，在宏观结构的位移及变形测量中 发挥了重要的作用，至今已发展为实验力学领域中一种成熟有效的光学测量 [1] [2] 手段。传统的云纹法包括几何云纹法 和云纹干涉法 ，但由于其测量灵敏 度取决于试件栅频率，而几何云纹法和云纹干涉法所用的试件栅频率一般分 别为100 lines/mm和1200 lines/mm ， 故而这两种方法较难满足微纳米尺度测 量的要求，迫切需要发展具有高测量灵敏度的云纹技术。 高倍显微镜的出现给微纳米云纹法的发展带来了新的契机，90 年代初 Kishomoto[3]等提出了电子束（EBM ）云纹法，采用栅线频率高于10000 line/mm 的电子束刻蚀栅进行变形测量，测量灵敏度达0.1μm 。90 年代末， 1 邢永明[4] 等提出以晶体的晶格周期结构作为试件栅，透射电子显微镜 （TEM ）的扫描线作为参考栅，两者干涉形成纳米云纹，对晶体物质中的 位错，原子键断裂等进行了纳米尺度的测量。郭海明[5, 6]等研究了扫描隧道 显微镜（STM）云纹法，对高取向热解石墨(HOPG)表面晶格缺陷进行了分 [7] 析。谢惠民 等提出原子力显微镜（AFM ）纳米云纹法，测得了石墨和云母 的纳米变形，并将该方法推广到微米范围。潘兵[8]等提出激光扫描共聚焦显 微镜（LSCM ）云纹法，对扁平电子封装元件QFP 的残余热变形进行了测 量。这些高灵敏度云纹测量技术的出现，为微纳米尺度力学性能的测量和表 征提供了有效的手段。鉴于LSCM具有分辫率高、无需真空环境、标本制备 简单、对样品无损伤、空间定位方便、可仅在焦平面成像等优点，特别适于 对生物样品的研究，是当今生物学研究领域中一种先进的图像采集和分析仪 器[9]，本文着重介绍LSCM云纹测量技术。对LSCM 的工作原理、LSCM云纹 的形成机理、LSCM云纹法的测量原理、特点和应用分别加以阐述和探讨。 2.LSCM云纹法的测量原理及特点 [10] 2.1 LSCM 的工作原理 LSCM 的光学成像原理如图1所示，其典型结构主要由激光光源、显微 镜光学系统、检测系统和扫描控制系统四大部分组成。激光器和照明孔径组 成点光源系