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竞拍设备清单与要求
竞拍设备清单与要求
首钢数量
编号 工序 设备名称 工艺简要说明 规格型号
台套
1 CVD 立式CVD25# 无法使用的故障设备，备件机 VCF-615 1
2 CVD 常压CVD2# APCVD2# WJ-T999 1
3 CVD 常压CVD3# APCVD3# AMAX200 1
4 CVD 常压CVD4# APCVD4# WJ-999 1
5 CVD 常压CVD5# APCVD5# WJ999 TEOS 1
6 CVD 常压CVD CVD4# 1
7 CVD WCVD1# CENTURA WCVD1# SYS5200TC 1
8 CVD WCVD2# CENTURA WCVD2# CENTURAP5200 1
9 干刻 AL-SI-CU铝干刻机 Al等离子刻蚀Centura II DPS centure ii dps 1
10 干刻 AL-SI-CU铝干刻机 Al等离子刻蚀Centura II DPS AMAT DPSII ETCH 1
11 干刻 AL-SI-CU干刻机 Al等离子刻蚀Centura MxP AMT 1
12 干刻 干刻机 SiO2等离子刻蚀TE5000 TE-5000 1
13 干刻 多晶硅刻蚀机 Poly等离子刻蚀TE8401 TE8401IEM 1
14 干刻 干刻机 W等离子刻蚀Rainbow4720 R-4420W 1
15 干刻 钨干刻机2# W等离子刻蚀ILD4100 ILD-4100 1
16 干刻 氧化膜9# SiO2等离子刻蚀TE8500 TE-8500 1
17 干刻 GS干刻机 TrenchPoly等离子刻蚀P5000 P-5000 1
18 干刻 TRENCH干刻机 P5000 1
19 光刻 涂胶机 涂胶机 SCW-629-BV 2
20 光刻 自动现像机 显像机 SDW-629-BVP
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