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M/HgI2接触特性分析
· 8 · 材料导报 B:研究篇 2011年 4月(下)第25卷第4期
M /HgI2接触特性分析
许 岗 ,李高宏 ,介万奇。,查刚强
(1 西安工业大学材料与化工学院,西安 710032;2 西北工业大学材料学院,西安 710072)
摘要 利用不同的电极材料和制备方法制备了3种 M/HgI2。采用热电子发射模型计算 了相应的接触势垒。
采用比接触电阻法、电极系数法和欧姆系数法对比了M/HgI2的欧姆接触特性。结果表 明,C/HgIz、AuCla/Hgl2和
Au/HgI2的接触势垒均约为0.9eV;C/Hglz和AuC13/HgI2具有良好的欧姆特性,Au/Hglz的欧姆特性相对较差。
分析认为,HgI晶体表面费米能级的钉扎导致了相近的接触势垒。但 由于电极制备工艺没有显著影响AuCla/HgI2
和C/HgI晶体表面质量,因而具有 良好的欧姆接触特性。由于溅射 Au电极在制备工艺中的温度升高和真空度造
成Au/HgI晶体表面质量下降,因此其欧姆接触特性较差。
关键词 碘化汞 电极 接触势垒 费米能级 钉扎 表面质量 欧姆特性
中图分类号:TN305.93 文献标识码:A
StudyontheContactCharacteristicofM /HgI2
XUGang ,LIGaohong,JIEWanqi,CHA Gangqiang
(1 SchoolofMaterialsandChemicalEngineering,Xi’anTechnologicalUniversity,Xi’an710032;
2 SchoolofMaterialsScienceandEngineering,NorthwesternPolytechnicalUniversity,Xi’an710072)
Abstract ContactbarriersofthreeM/HgI2withdifferentelectrodepreparationprocessingwerecalculatedac—
cordingtothethermoionicemissionmodel,andtheOhmiccharacteristicofM /Hglzwasstudiedwiththreedifferent
criterions.Theresultsindicatethatthevalueofbarrierheights,about0.9eV,isallpresentedforthreeM/Hglz.C/
HgI2andAuC13/HgI2havebetterOhmicpropertiesthanAu/HgI2.TheanalysisshowsthatFemilevelatHgI2crystal
surfaceis“pinned”priortocontactpreparation。whichleadtothesimilarbarrierheights.ColloidalgraphiteandAuCla
havebettercraftofelectrodefabrication,whichdoesnotdeterioratesurfacequalityofHglzcrysta1wafers.Thus,C/
HgI2andAuC13/HgI2havelowercontactresistancespecific,betterohmiccoefficientandlowerelectrodecoefficient.
ThehighertemperatureduringsputteringofAucontactsleadstoHglzvolatilizationanddeterioratstheinterfacequali—
tyofHgI2crystalwafers,whichformsworseomh iccontact.
Keywords mercuriciodide,electrode,contactbarrier,Femi
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