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表面传导电子发射显示器电子发射源制作技术.pdf
· 综 述 ·
表面传导电子发射显示器电子发射源制作技术
孙宏博，吴胜利
(西安交通大学 电子物理与器件教育部重点实验室，陕西 西安 710049)
Manufacturing Technology of the Electron—Emitter for
Surface-Conduction Electron—Emitter Display
。
SUN Hong-bo，WU Sheng—li
(Key Laboratory of Physical Electronics and Devices of Education Ministry，
Xian Jiaotong University，Xian 710049，China)
Abstract：The surface—conduction electron—cmitter display(SED)is a newly developed display technol
ogy with high contrast，high gradation levels and low power consumption．The principles of SED are intro
duced basically，and electron—emitter manufacturing，which is the core technology of SED，is also demon
strated． Various manufacturing technologies are briefly reviewed and compared．
Key words：SED；SCE；Conducting film
摘要：表面传导电子发射显示器(SED)是最近开发的一种新型平板显示技术，具有高对比度、高灰度级、低功耗等优点。
本文介绍了SED的工作原理及SED技术中处于核心地位的电子发射部件制造技术，并将各种电子发射部件制造技术进行了
比较。
关键字：表面传导电子发射显示器；电子发射部件；导电膜
中图分类号：0462．4 文献标识码：A 文章编号：1002—8935(2007)06--0041—05
平板显示器近两年在亮度、对比度、视角等技术 l SED工作原理
指标上不断提高，同时成本大幅度降低，使得平板显 2O世纪6O年代，前苏联科学家发现在两个平
示器在消费市场上逐步取代 CRT显示器，成为电 行电极间沉积氧化锡薄膜，薄膜呈现非连续颗粒状
视高清晰化更新换代的主流选择。 态，在薄膜上施加电压时，颗粒之间的导电通道会被
平板电视市场上关于等离子电视和液晶电视的 逐渐烧毁，当氧化锡薄膜的电阻达到一定程度时，如
优劣之争是人们关注的焦点。两者都是平板显示 果在薄膜的上方加有阳极电压，就开始出现电子发
器，但支持等离子技术的人称等离子技术更适合于
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