基于自润滑C（Cr，N）镀层钢球轴承的速度性能研究.pdfVIP

贾贵西 等 ：基于 自润滑 C(Cr，N)镀层钢球轴承的速度性能研究 基于 自润滑 C(Cr，N)镀层钢球轴承的速度性能研究 贾贵西 ，常家东 ，李 言 ，王雅红 (1．洛阳理工学院，河南 洛阳471023；2．西安理工大学 机械与精密仪器工程学院，陕西 西安 710048) 摘 要 ： 应用非平衡磁控溅射离子镀技术在 6204轴 自润滑性能进行实验和对 比分析，探讨 C(Cr，N)镀层 承钢球表面制备 出自润滑C(Cr，N)镀层。运用扫描 钢球对滚动球轴承速度特性和 自润滑性能的影响。 电子显微镜和透射 电子显微镜对镀层的微观结构进行 2 实 验 了观察分析 ；测试 了镀层 的结合强度 、硬度 、韧性及摩 擦特性 ；用高性能轴承试验 台对镀层钢球轴承和无镀 2．1 C(Cr，N)镀层的制备 层轴承的速度性 能及其 自润滑性能进行 了实验 ，并对 采用 UDP450型闭合场非平衡磁控溅射离子镀设 其给予对比分析。研 究结果表 明，制备 的C(Cr，N)镀 备在轴承钢球基体上制备出C(Cr，N)镀层，图1所示 层具有 良好的微观结构和综合的机械性能；与无镀层 为设备溅射原理示意图。 轴承相比，镀层 明显减小 了轴承的振动 ，极大地提 高了 C靶 轴承的高速性能和 自润滑性能。 关键词： 磁控溅射 ；C(Cr，N)镀层 ；轴承钢球 ；速度性 能；自润滑性能 中图分类号 ： TB43：TH117 文献标识码 ：A Cr Cr 文章编号 ：1001—9731(2012)增刊 Ⅱ一0209—04 靶 靶 1 引 言 滚动轴承是机械设备中关键零部件之一，其工作 性能对主机的工作性能有重要的影响，特别是应用于 精密机械、高危机械的滚动轴承，保证其工作性能的可 图1 溅射原理示意 图 靠性尤为重要 。据有关资料表 明，表面改性技术是一 Fig 1Sputteringprincipleoffacility 种降低轴承摩擦力矩、提高轴承性能可靠性、延长轴承 镀层沉积系统采用 四靶溅射模式，即两块 C靶(纯 寿命的有效手段_1_3_，应用表面改性技术制备的固体 自 度≥99．99 )和两块 Cr靶 (纯度≥99．99 )，且均布 润滑镀层可以突破油脂润滑的有效工作范 围，保证轴 对称 放 置 于 真 空 腔 侧 壁；反 应 气 体 N (纯 度 承在极端工况条件下正常工作，提高轴承表面摩擦磨 ≥99．99 )，N 的流量 由光发射谱法 (OEM)进行控 损 、抗疲劳、耐高温等性能_l4]，因而，带有 自润滑镀层的 制 ；制膜时的靶～基距约为 120mm；工作气体为 Ar(纯 轴承非常适用在特殊工况条件下工作 。 度≥99．99 )。在制备镀层过程 中，试样 台在溅射靶 C是唯一的具有低摩擦系数 、高硬度的镀层材料 ， 之间匀速转动 ，钢球在试样台上随机转动 ，保证镀膜的 还有高化学稳定性、高热传导率、高抗腐蚀性等特性， 均匀性；并对试样施加一定的偏压，保证镀层的致密 是理想的镀层材料 ，然而 ，单一 的碳膜存在膜一基结合 性。沉积过程 中工艺参数是逐步线性改变，以保证镀 力差、应力大、成膜难等缺点，而限制了其应用[5]。在 层结构逐渐过渡。 碳膜中掺杂其它元素，可以改善碳膜与基体的结合力、 钢球试样放入真空室前，用丙酮和酒精对其进行 韧性等特性 ，极大地提高碳膜应用性能[7]。Cr元素 超声波清洗 ，以除去其表面的杂质 ，提高膜一基 附着强 具有与钢基体很好 的亲和力