微弧氧化BaxSr（1-x）TiO3薄膜微观结构及生长.pdfVIP

NONFERROUSMETALSENGINEERING doi：10．3969~．issn．2095—1744．2013．04．005 微弧氧化BaxSr1一xTiO3薄膜 微观结构及生长 妇 王 敏 郭会勇 李文芳 1．广东技术师范学院机 电学院 广州 510635： 2．河南平高电气股份有限公司 河南 平顶山 467001： 3．华南理工大学材料科学与工程学院 广州 510640 摘要：用分析纯Ba(OH)8·HO和Sr(OH)8·H20配制电解液，设置电流密度、电流频率、反应时间和 占空比分别为20A／dm2、100Hz、20min和85％，采用微弧氧化技术在工业纯钛板(99．5％)表面原位生 长Ba~Sr_~TiO 薄膜。研究电解液总浓度和电解液组分含量对薄膜物相、表面形貌以及薄膜生长的影 响。结果表明，所得薄膜具有相同的晶体结构，但电解液总浓度不同薄膜 中Ba2+和Sr2+的含量不同， 随着电解液总浓度和电解液中Ba(OH)：含量的增加，薄膜表面粗糙度值增加，薄膜生长速度加快。 关键词：Ba~Sr1-xTiO3(BST)；微弧氧化；微观结构 中图分类号：TG174．45；TG146．23 文献标志码：A 文章编号：2095．1744(2013)04．0028．03 微弧氧化作为一种新型的材料加工技术，它具有易 操作、薄膜成分可控、薄膜与基体为冶金结合 以及无污染 1 实验方法 等优点口-2]。早在 1969年，前苏联科学家G．A．Markov3[1等 从工业纯钛板(99．5％)上切取40mmx20mnix2mlT1 提出微弧氧化，其主要被用于耐腐蚀、耐磨以及装饰性 的基板，表面用 180至 900#砂纸逐级磨光后用HF和 膜层的制备4[-5]。1990年，S．V．Gnedenkov等[6]率先报道 HNO混合液(体积比为 1：31清洗，接着在丙酮和蒸馏水 将微弧氧化应用于 BaTiO，薄膜的制备后，该技术便受 中清洗，吹干备用。用分析纯Ba(OI-I~·8HO和 Sr(0H)2· 到国内外学者的广泛关注。姜兆华_71、Chu．TsunWu8[]、韩 8H：O按所需溶液浓度配制电解液，溶剂为蒸馏水。将钛板 冰 、黄文波[10]以及王新华…]等先后采用直流源微弧氧 接阳极、不锈钢板接阴极放置于电解液中进行微弧氧化 化制备BaTiO，薄膜 ，但制备其他类 的铁 电薄膜 尚未见 反应，设置 电流密度为 20A／dm：、电流频率为 100Hz、反 报道。 应时间为20rain、占空比为85％及电解液温度为60℃。 Ba~Sr—JiO，(简称BST)薄膜因具有优异的光电性能， 在通信、电子、机械等领域有着广泛的应用前景[t2-131，成为 基金项 目：中央高校基本科研业务费专项资金资助项 目 近几年新材料研究的热点。采用微弧氧化技术制备BST (2012ZZ0011) 薄膜，重点研究电解液总浓度和电解液组分对薄膜物相、 收稿 日期：2012—12—06 作者简介 ：王 敏(1978一)，女，浙江长兴县人，讲师，主要从 表面形貌以及薄膜生长情况的影响。 事材料表面工程等方面的研究。 28 有色金属工程 2013年第3卷第4期 NONFERR0USMETALSENGlNEERlNG 的增加，薄膜表面平整性和致密度均降低，构成薄膜表面 的颗粒尺寸增大，表面散布的~LNTL径总体增大且大小 不均，薄膜中出现大裂纹。研究表明，在溶液总浓度不变 的情况下，增加Ba(OH)：的含量，能促进微弧氧化反应， 吕 使得反应加剧，反应产生的熔融物飞溅严重，被放 电击穿 产生的孔洞不能通过熔融物