探针尺寸对Si—DLC薄膜表面粘附和摩擦的影响.pdfVIP

探针尺寸对Si—DLC薄膜表面粘附和摩擦的影响／范 真等 ·1O7 · 探针尺寸对 Si—DLC薄膜表面粘附和摩擦的影响 范 真 ，刘 翊 ，丁建宁 ，程广贵。，陈修祥 (1 江苏技术师范学院机械与汽车工程学院，常州 213001；2 江苏大学微纳米科学技术研究中心，镇江 212013； 3 常州大学低维材料微纳器件与系统研究中心，常州 213164) 摘要 采用AFM尖头探针、球头探针和平头探针对 Si-DLC膜进行摩擦实验，研究了薄膜的微观摩擦力学性 能，探讨了不同接触尺度下薄膜表面粘附力及摩擦产生的机理，建立了不同探针与薄膜表面粗糙峰的接触模型，推导 了表面粘附力与接触面积的关系表达式，表明在微观接触中，接触面积对粘附力起着主导作用。尖头探针与薄膜表 面的微观摩擦系数取决于表面粗糙峰的斜率，与粗糙峰的高度相关不大；球头探针与薄膜表面的摩擦力主要取决于 单位面积接触粗糙峰密度；平头探针与薄膜表面的摩擦力主要取决于外加载荷，表面形貌的微观尺寸效应可忽略。 关键词 Si—DLC膜 接触尺度 摩擦机理 接触模型 中图分类号：TG174．44；TH117．1 文献标识码：A Effect0fAFM TipSizeon theAdhesiveandFrictionalBehaviorsonSi-DLC Film Surfaces FAN Zhen ，LIU Yi，DINGJianning ，CHENGGuanggui，CHEN Xiuxiang (1 SchoolofMechanicalandAutomobileEngineering，JiangsuTeachersUniversityofTechnology，Changzhou213001；2 Centerof Micro／NanoScienceandTechnology，JiangsuUniversity，Zhenjiang212013；3 CenterforLow-DimensionalMaterials， M icro-NanoDevicesandSystem，ChangzhouUniversity，Changzhou213164) Abstract InordertostudythepropertiesoffrictionoftheSi-DLCfilm，thefrictionalexperimentsweredone withsharpprobe，sphericalprobeandflatprobe．Themechanism ofthinfilm adhesionandfrictionundercontactsat differentscaleswerestudied，inthelightofthecontactmodelofprobesandmembranesurfaceasperity，theformula forsurfaceadhesionandcontactingareawerederivedwhichwasindicatedtoplayaleadingroleinthemicro-contact． Themicro-frictioncoefficientoftinyprobeandfilm surfacedependsontheslopeofthesurfaceasperitybuttheheight ofasperity；contactasperitydensityperunitareadecidesthesphericalprobefrictionoffilm surface；whentheflat probeslideinthefilm surface，thefrictiondependsontheappliedloadandsurfacemorphologyofmicro-sizeeffecton thefrictioniSnegligible． Keywords silicon