EBSD技术及其在取向硅钢研究中的作用.pdfVIP

第 16卷 第 1期 金属功能材料 Vol_16． No．1 2009年 2月 MetallicFunctionalMaterials February， 2009 EBSD技术及其在取 向硅钢研究中的作用 孙 颖 ，李 军 ，赵 宇。，喻晓军 ，连法增 (1．东北大学 材料与冶金学院，沈阳 110004；2．安泰科技股份有 限公司 功能材料事业部 ，北京 100081) 摘 要 ：电子背散射衍射 EBSD是一种用来分析 多晶材料显微结构 、晶粒取 向和微观织构 的扫描 电镜新技术 。本 文结合基本原理介绍了EBSD技术在取向硅钢研究中的作用。 关键词 ：EBSD技术 ；扫描电镜 ；取向硅钢 中图分类号：TG142．77；TM275 文献标识码 ：A 文章编号 ：1005—8192(2009)01—0041—04 EBSD TechnologyandItsApplication inGrain OrientedElectricalSteel SUNYing，LIJun。，ZHAOYu，YUXiao-jun，LIANFa—zeng (1．SchoolofMaterialsandMetallurgy，NortheasternUniversity，Shenyang110004，China； 2．FunctionalMaterialsBranch，AdvancedTechnologyandMaterialsCoLtd，Beijing100081，China) Abstract：EBSD isarathernew andpowerfultechnologyinthescanningelectronmicroscope．Itprovidesinforma tiononcrystalstructure，orientationofthelocalcrystallineregionsandmicrotextureofp01ycrysta1nnematerials． ThefundamentalsoftheEBSD aredescribedinthepaper．ItispresentedthatEBSD isavaluablesupplementforori entedelectricalstee1research． Keywords：EBSD technology；SEM ；grainorientedelectricalsteel 电子背散射衍射 (electronbackscatterdiffrac— 可以在分析其微区取向、织构 、再结晶等微观方面起 tion，简称 EBSD)是扫描 电镜 (SEM)的一个辅助功 到重要作用。 能，是通过衍射菊池线来分析样品结构信息的新技 1 EBSD技术 术 。一些观点认为，EBSD技术 只是用于材料基础 研究的一种边缘的辅助性手段 ，但实际上 EBSD系 1．1 EBSD的原理 统与能谱分析仪 (EDS)同样都是 SEM 上的附件 ，使 入射电子束在晶体中发生非弹性散射，在人射 SEM 除了可以观察样品的微观形貌 ，还能够同时获 点附近发散成为一个点源，由于其能量损失很少 ，电 取微区取向、相鉴定 、微观结构和成分分布等方面信 子的波长可认为基本不变口]，这些 电子在反 向出射 息Llj。因此 EBSD技术可以用于各种晶体材料 (例 时与晶体产生布拉格衍射 (电子背散射衍射)，出现 如金属、陶瓷等)分析 ，解决在诸如凝固、形变 、结晶、 一 些线状花样 ，称为菊池线_4]。菊池线敏感于晶体 再结晶、相变、断 口，腐蚀等过程 中的问题 ]。取向 取向，是晶体结构的重要衍射信息，不同晶面的衍射 硅钢是应用最广泛的一类金属软磁合金 ，在电力电 菊池线组成电子背散射衍射花样 (EBSP)E