项目四 电容式传感器.ppt

电容式传感器 电容式传感器是以各种类型的电容器作为传感元件，将被测非电量变化转换为电容量的变化的一种传感器。它广泛应用于位移、振动、角度、压力、液位、成分含量等方面的测量。 电容式传感器的特点 结构简单，体积小，零漂小，动态响应快，灵敏度高，易实现非接触测量，本身发热影响小等。 随着电容测量技术的迅速发展，电容式传感器在非电量测量和自动检测中得到了广泛的应用。 任务一 电容式传感器的结构类特征 用两块金属平板做电极，以空气为介质，可构成最简单的电容器，如图41所示。如果不考虑电容器边缘效应，其电容量为 图4-1平板电容器 任务一 电容式传感器的结构类特征 式中：C为电容量；A为两平行板所覆盖的面积；d为两平行板之间的距离；ε为极板间介质的介电常数，ε=εrε0；ε0为真空介电常数，ε0=885×10-12F·m-1；εr为极板间介质的相对介电常数。 由式(41)可知，当d、A和ε(或εr)发生变化时，电容量C也随之变化。如果保持其中两个参数不变而仅改变其中一个参数，就可以把该参数的变化转换成电容量的变化，通过测量电路就可转换为电量输出。这就是电容式传感器的基本工作原理。 一、结构类型 根据电容式传感器的工作原理，在实际应用中，一般可分成三种基本类型，即改变两极板间距离的变极距(d)型(或称变间隙型)、改变极板间覆盖面积的变面积(A)型和改变极板间介质的变介电常数(ε)型。它们的电极形状有平板形、圆柱形和球形三种。 项目四电容式传感器 传感器与检测技术项目化教程 一、结构类型 图4-2所示为常用电容器的结构形式。其中图(a)和图(e)为变极距型，图(b)~(d)、图(f)~(h)为变面积型，而图(i)~(l)则为变介电常数型。变极距型一般用来测量微小位移(001μm~102μm)；变面积型一般用于测量角位移(1°~100°)或较大线位移；变介电常数型常用于物位测量及介质温度、密度测量等。其他物理量须转换成电容器的d、A或ε的变化再进行测量。 图4-2电容式传感元件的各种结构形式 一、结构类型 一、结构类型 图4-3(a)所示为用于测量压力的JP312型陶瓷电容式压力传感器，此传感器的性能：量测范围0~0007MPa，0～20MPa；供应电源500VDC±025VDC；反应时间小于10ms；综合误差不大于±01％FS；并具有抗腐蚀、抗磨损、耐冲击、无迟滞等特点。 图43(b)所示为用于测量料位、液位的ER型电容式传感器，此传感器可以用来检测导电体及非导电体，并可以在非金属材料的料筒外对料桶内的物料进行料位检测。图43(c)所示为用来测量加速度的SH105A620型电容式传感器的实物图，此传感器的参数和特点：测量范围：±1g， 图4-3电容式传感器的实物图 一、结构类型 一、结构类型 (a)陶瓷电容式压力传感器；(b)电容物位、料位传感器； (c)电容式加速度传感器；(d)电容式湿度传感器 ±15g，±17g，±3g;具有自测试和故障自检功能；频率响应可调；能承受高冲击和振动；直接使用，无需外围额外器件；+5V电源，模拟电压输出；具有非常优异的温漂和时漂性能。图43(d)是用来测量湿度的HS1101型电容式传感器的实物图，此传感器的参数和特点：高精度2％；极好的线性输出；1％~99％RH湿度量程；-40℃~100℃的温度工作范围;响应时间5s；湿度输出受温度影响极小；防腐蚀性气体；常温使用无需温度补偿；无需校准；电容与湿度变化034pF/％RH；长期稳定可靠，年漂移量05％RH／年；适用于温度仪表、家用电器、OA设备等。 二、主要特性 1变极距型电容式传感器 图4-1所示为变极距型电容式传感器的结构原理图。图中2为静止极板(定极板)，而极板1为与被测体相连的动极板。当极板1因被测参数改变而引起移动时，就改变了两极板间的距离d，从而改变了两极板间的电容量C。 二、主要特性 当传感器的相对介电常数εr和相对覆盖面积A为常数，初始极距为d0时，其初始电容量为 若电容器极板间距离由初始值d0减小了Δd，则电容量增大ΔC，即 二、主要特性 由式(4-3)可以看出，传感器的输出特性不是线性关系，而是如图4-4所示的曲线关系。在式(4-3)中，若Δdd0，则式(43)可用泰勒级数展开得 C=C0+ΔC=C01+Δdd0+Δdd02+Δdd03+… 即 由式(4-4)可知，输出电容的相对变化ΔCC0与输入位移Δd之间的关系是非线性的，当Δd／d01时，可略去其高次项，得到近似线性关系式为 所以，电容式传感器的灵敏度为 二、主要特性 二、主要特性 则从式(4-6)可以看出，灵敏度K与起始间距d0成反比，要提高灵敏度，应减小起始间距d0。但d