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稀土铈对化学镀Co_Fe_B合金工艺的影响
July 2005 Electroplating Pollution Control Vol. 25 No. 4
·20 ·
·化学镀·
稀土铈对化学镀 CoFeB 合金工艺的影响
Effects of Rare Earth Element Ce on Electroless CoFeB Alloy Plating
朱云丽 , 宣天鹏 , 王卫荣
(合肥工业大学 材料科学与工程学院 , 安徽 合肥 230009)
ZHU Yunli , XUAN Tianpeng , WANG Weirong
(Materials Science and Engineering Institute , Hefei University of Technology , Hefei 230009)
摘要 : 研究了稀土元素铈对化学镀 CoFeB 合金工艺的影响。在正交试验的基础上以称重法分析了稀土元素铈加入前后主
盐、还原剂、络合剂、缓冲剂等对沉积速率的影响。结果表明 ,在稀土元素铈加入后 ,化学镀 CoFeB 合金的沉积速率有不同程
度的提高 ,并结合镀层质量 ,得出化学镀 CoFeB 合金最佳镀覆工艺。
关键词 : 稀土元素 ; 化学镀 ;CoFeB 合金 ; 沉积速率
Abstract : The effects of Ce on electroless CoFeB alloy plating are studied. The influences of metallic salt , reducing agent , complexing
agent and buffer on deposition rate are analyzed before and after rare earth element Ce is added on the basis of orthogonal test by weighing
method.
Key words : rare earth element ; electroless plating ; CoFeB alloy ; deposition rate
( )
中图分类号:TQ 153 文献标识码 :A 文章编号 2005
浸渍 水洗 30 %盐酸浸渍 水洗 蒸馏
1 前言
水洗 化学镀 CoFeB 水洗 蒸馏水洗
随着计算机对磁记录材料的需求 ,化学镀钴基 热风吹干
合金引起了人们的关注。CoB 系合金具有良好的 由于试验使用的铜片基体在化学镀液中没有催
软磁特性 ,可用于磁头材料 ,加入铁形成 CoFeB 三 化作用 ,故施镀时需用铁丝引发起镀 ,CoFeB 合金
元合金 ,对合金镀层的磁性 ,如饱和磁感应强度、矫 镀层沉积一旦形成 ,沉积便持续自发地在镀件表面
顽力、磁各向异性等都有改善[1～3 ] 。国内外对化学 均匀地进行 ,镀层厚度随着时间延长而增加。
镀 CoFeB 合金的研究刚刚起步 , 国内都用硼氢化 2. 2 镀液配方及工艺参数
钠为还原剂[4 ] , 国外则都采用DMAB 为还原剂[2
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