先进半导体器件与材料特性分析系统– 4200-scs 的最新技术进展.pdf

先进半导体器件与材料特性分析系 统 –4200-SCS的最新技术进展 Keithley CN AE team 4200-SCS 产品概览 • 硬件介绍 • 卓越性能 • 最新应用 4200-SCS 主要市场分布 • 半导体材料和器件的研发—传统的半导体和微电子专业 • 器件和工艺的参数监控—半导体工艺线，生产 • 器件的建模（Modeling)—半导体器件的设计，集成电路的设计 • 可靠性和寿命测试—半导体器件可靠性研究 • 高功率MOSFET ，BJT和III-V族器件（GaN ，GaAs)的特性分析 • 纳米器件研究； • 光电子器件的研究（LED ，OLED等）； • 非易挥发性存储器测试—Flash闪存，相变存储器（PRAM ），铁 电存储器（FeRAM) ，阻变存储器（RRAM)等； • 有机半导体特性分析 • 太阳能电池及新能源器件特性分析 硬件介绍—前面板 • 4200-SCS/F半导体特性分析系统的前面板具有一个12英寸的超清晰分辨率（ 1024×768 ）的液晶显示器，具有可刻录的DVD光驱，磁盘驱动器，USB接口，键 盘和鼠标。 • 具有工业级，基于GUI的Windows视窗界面，将系统设置集成时间降低到了最小； • 将工业级控制器和另外的RAM集成在一起，确保了高的测试速度，加强了系统的坚 固性，稳定性和安全性；2000年年底推向市场，全球第一家将Windows GUI界面和 测量仪器有机地结合在一起； • 具有计算机大容量硬盘，可立即存储测试过程和数据结果； • 可刻录的DVD光驱可以进行大容量的数据备份和传输； • 带有4个USB接口可迅速地与外围设备进行通信。 硬件介绍—后面板 • 4200-SCS半导体特性分析系统的后面板是系统的主要组成部分，从左至右看，可分成计算机部分 和仪器测量部分。计算机部分包括标准的10/100以太网接口，RS-232接口，并行打印机接口（ 内置100多种常用打印机驱动程序），SVGA显示器接口，USB接口等；仪器测量部分则包括9个 基于PCI总线的插槽，可插入2-8个SMU （源测量单元），可插入双通道脉冲发生器和示波器插卡 （支持脉冲I-V测量），带有远端感应功能的低噪声地单元，GPIB接口等； • 将仪器测量部分与计算机部分组成了一个完整有机的整体，使得用户在仪器安装和调试的时间降 低到了最小； • PCI总线插槽的结构可以使得用户将测量通道的数量从2个扩展至8个，从直流I-V测试扩展到脉冲 I-V测试； • 每个SMU通道都具有独立的22位分辨率的A/D转换器，保证了测试精度； 一体化的完美半导体测试解决方案 KEITHLEY Source Measure Unit 它可以做得更棒！ 以前, 我们这样做测试 现在, 我们这样做测试 产品介绍—SMU 直流I-V特性测量 • 4200-SCS系统实现I-V测量功能的核心单元是SMU （源测量单元）； • SMU集4种功能于一体：电压源、电压表、电流源、电流表； • 可以向器件提供驱动电压同时测量电流，也可以向器件提供电流并测量电压； • 图形化的KITE软件可以轻松地设定测试条件，设定电压或电流，被测点数， • 保护电压或电流值，完成各种I-V参数测试； • SMU的数量与被测器件的端口数有关，原则上有几个端口，就要配几个SMU 。 产品介绍—四端MOSFET器件的输出特性测量 四端MOSFET的输出特性测量需要在Gate端加step电压, Drain端加扫描电压同 时测量其电流。其它两端设为公共端(即参考电平). 产品介绍—四探针电阻率和范德堡电阻测量 半导体材料研究和器件测试经常需要确定样品的电阻率和Hall载流子浓度。半导 体材料的电阻率主要取决于体掺杂。在一个半导体器件中，电阻率能够影响电容 ，串联阻抗和阈值电压。 卓越性能★—4200-SCS微弱电流技术特性 卓越性能★—4200-SCS微弱电流技术特性 • 吉时利仪器公司成立63年来，致力于微弱电流测试 的技术研发： 4200-SCS系统采用了2个技术优势来保证电流的测 试： (1). 测试电缆采用三同轴电缆技术，采用特殊 Guard保护电路，从而保证了小电流的测试；