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See discussions, stats, and author profiles for this publication at: /publication/273765609 Technologic investigation of laser micro- drilling on the thin ceramic plate Article in cta Optica Sinica · September 2014 DOI: 10.3788/ OS201434.s114012 CIT TIONS RE DS 0 80 4 authors, including: Yong Yao Harbin Institute of Technology 114 PUBLIC TIONS 603 CIT TIONS SEE PROFILE Some of the authors of this publication are also working on these related projects: Share technology and equipment development fund (6140414040116CB01012), View project ll content following this page was uploaded by Yong Yao on 01 May 2015. The user has requested enhancement of the downloaded file. 第 34卷 光 学 学 报 光学前沿～一 信息光学 2014年 9月 ACTAOPTICA SINICA 专 刊 薄板陶瓷微孔的激光加工工艺研究 肖磊 赵建涛 闫振峰 姚 勇 ／ 哈尔滨工业大学深圳研究院电子与信息工程学院，广东 深圳 518055、 ＼深圳市大族激光科技股份有限公司精密切割事业部，广东 深圳 518057／ 摘要 主要研究薄板 陶瓷微孑L的激光精密加工工艺 。具体采用 COz、光纤激光器 以脉冲打孔和切割技术 ，通过优 化激光器功率、占空 比、重复频率、离焦量、辅助气体类型、气压等工艺参数 ，旨在改善激光加工陶瓷微孔 的热影响、 锥度和提高激光加工效率满足工业应用 的要求 。实验结果表明：采用 CO 激光能够加工 出孔径为 8O～200 m 的 微孑L，其效率达 18hole／s，热影响也得到了明显改善 ；而采用光纤激光单脉冲方式打孔速度达 300hole／s，其微孔锥 度可控 ；切割方式打孔速度达 648hole／s，且能够获得孔径为 100 m 的直微孔的稳定激光微加工 。 关键词 激光技术 ；陶瓷 ；激光微加工 ；激光钻孔 ；精密加工 中图分类号 0436 文献标识码 A doi：10．3788／A0S2Ol434．sl14O12 TechnologicInvestigati0n ofLaserM icro-Drillingon the Thin Ceram icPlate XiaoLei’。 ZhaoJiantao。 YanZhenfeng。 YaoYong DepartmentofElectronicandInformationEngineering，ShenzhenGraduateSchool， HarbinInstituteofTechnology，Shenzhen，Gu