CMOS级 - 中国试剂网.PDF

编号：2011-7(1) 中国试剂网产品推荐中国试剂网产品推荐 中国试剂网产品推荐中国试剂网产品推荐 产品大类产品大类：：CMOS 级（高纯半导体级）产品。 产品大类产品大类：： 产品介绍产品介绍: 产品介绍产品介绍 微电子技术是电子微细加工技术,主要指用于半导体器件和集成电路(简称IC) 加工制作 的一系列蚀刻及处理技术。微电子化学品是电子技术微细加工制作过程中不可缺少的关键基 础化工材料之一,主要用于芯片的清洗和腐蚀,它的清洁度和纯度对 IC 产品的成品率、电性 能及可靠性等都有着十分重要的影响,微电子化学品在制造现代微型芯片的过程中起着日益 重要的作用,它基于微电子技术的发展而产生,同时又制约着微电子技术的发展。 在微电子行业中，我们熟知的化学品一般为MOS 级（电子级）。MOS 试剂即金属-氧化 物-半导体 （Metal-Oxide-Semiconductor ）电子工业专用高纯化学品，对于测定杂质含量较低 的试验一般都采用这类试剂。一般用于半导体，电子管等方面，主要用于大规模、超大规模 集成电路的研究和生产。 随着 IC 集成度的不断提高,对微电子化学品中的可溶性杂质及固体颗粒的控制也越来 越严格，国际半导体设备与材料标准化组织(简称SEMI) 将微电子化学品按应用范围分成4 个等级: SEMI2C1 、SEMI2C7 、SEMI2C8 、SEMI2C12 , CMOS 级化学品应运而生。高纯 半导体级(CMOS)适用1 微米集成电路及TFT-LCD 制造工艺，经过0.2 微米孔径过滤器过滤， 控制在0.5 微米粒子。在100 级净化环境中灌装，达到SEMI2C7 标准。 MOS 级化学品杂质最高含量为0.01-10ppm，有的可降低到ppb 数量级，尘埃等级达 到0-2ppb 。 CMOS 级化学品金属杂质含量小於10ppb。 目前国内首批PP （万亿分之一）级超高纯微电子化学品异丙醇已成功投产，标志着 我国IC 行业高端清洗剂产业实现了零的突破。 作为浓度单位，ppm 即mg/L(毫克/升) ；ppb 即ug/L(微克/升) ；ppt 即ng/L(纳克/升) ， 换算公式如下： -6 -9 -12 1ppm=1×10 1ppb =1×10 1ppt=1×10 1ppm=1000ppb 1ppb=1000ppt MOS 级和CMOS 级化学品都适用于中大规模集成电路、半导体分立器件及硅材料等生 产领域，可满足微电子行业对专用高纯化学品的需求。 MOS 级和级和CMOS 级产品清单如下级产品清单如下，具体技术规格见，具体技术规格见COA 报告报告：： 级和级和 级产品清单如下级产品清单如下，，具体技术规格见具体技术规格见 报告报告：： 存货编码 存货名称 规格型号 主计量 含税售价 丙酮 （易制毒-3 ）（易制爆） MOS （沪试） 500ml 16.00 无水乙醇 MOS （沪试） 500ml 16.00 盐酸(*)(腐蚀) （易制毒-3 ）（易制爆） MOS （沪试） 500ml 18.00 氢氟酸 MOS （沪试）