纳机电探针阵列与压阻式传感器集成技术研究3 - 中北大学微米纳米 .pdf

( ) 　2004 年 第 23 卷 第 1 期 　　　　　　　　　　传感器技术 Journal of Transducer Technology 　　 73 前沿技术 纳机电探针阵列与压阻式传感器集成技术研究 1 2 1 杨尊先 , 程保罗 , 李昕欣 (1 . 中国科学院 上海微系统与信息技术研究所 传感技术国家重点实验室 ,上海 200050 ; 2 . 浙江大学 信息与电子工程学系 ,浙江 杭州 310027) 摘 　要 : 给出了纳机电探针阵列与压阻式传感器集成一维阵列器件结构及工作原理 ;通过理论计算得到 该结构的一些主要的特性参数 ,计算结果与 ANSYS 模拟结果相符合 ;并运用微纳机械加工技术制造出该 器件。该器件将加热电阻器、压阻式传感器和硅基针尖集成于在同一超薄微细悬臂梁 ,通过楔形开孔的机 械切断 ,避免了加热电阻器高温处的 PN 结在高温下失去电隔离作用。室温下测得该器件加热电阻器的 阻值为 500～600 Ω,压阻式传感器的力敏电阻器的阻值为 6～8 kΩ。 关键词 : 集成化 ; 纳米探针 ; 硅 ; 纳机电系统 ( ) 中图分类号: TP212. 6 　　　文献标识码 : A 　　　文章编号 : 1000 - 9787 2004 01 - 0073 - 04 Study on the nano electromechanical systems( NEMS) electrothermal probe array integrated with piezoresistive sensor 1 2 1 YAN G Zunxian CHEN G Baoluo L I Xinxin ( 1. State Key Lab of Transducer Techn ,Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology , Chinese Academy of Sciences , Shanghai 200050 , China ; 2. Dept of Info Sci and Elct Engin , Zhejiang University , Hangzhou 310027 , China) Abstract : Structure of the N EMS electrothermal probe array integrated with piezoresistive sensor and its fund mental working principle have been illustrated and the structure parameters have been gained by theoretic calcu lation ,it is agree